อุปกรณ์ฟิล์มบางที่ปรับปรุงพลาสมา

พลาสมาที่ปรับปรุงแล้วอุปกรณ์ฟิล์มบางเป็นเทคโนโลยีการเคลือบไอออนบริสุทธิ์ (ลำแสงไอออนบริสุทธิ์), เทคโนโลยีการทำความสะอาดลำแสงไอออนพลังงานสูง (ไอออนเบม), เทคโนโลยีแม็กเทนสปัตเตอร์ (สปัตเตอร์) และการสะสมของการสะสมของการสะสมของแม่เหล็ก

พลาสมาปรับปรุงอุปกรณ์ฟิล์มบางให้การผสมผสานกระบวนการที่ยืดหยุ่นมากขึ้นเพื่อตอบสนองความต้องการผลิตภัณฑ์ที่ซับซ้อนและกระบวนการไฮบริดที่ทรงพลังให้ความเป็นไปได้มากขึ้นสำหรับนักออกแบบกระบวนการ

พลาสมาปรับปรุงอุปกรณ์ฟิล์มบาง ๆ แนะนำฟังก์ชั่นอุปกรณ์:

(1) แหล่งการเคลือบไอออนบริสุทธิ์โดยใช้ระบบกรองแม่เหล็กไฟฟ้าที่มีประสิทธิภาพกำจัดอนุภาคได้อย่างมีประสิทธิภาพได้รับลำแสงไอออนที่มีความบริสุทธิ์สูงขึ้นช่วยปรับปรุงความแข็งของการเคลือบและแรงจับ

(2) แหล่งทำความสะอาดลำแสงไอออนพลังงานสูงโดยใช้โครงสร้างการปลดปล่อยที่ออกแบบมาเป็นพิเศษเข้ากันได้อย่างมีประสิทธิภาพกับการเปิดใช้งานการทำความสะอาดพลาสมาการทำให้เกิดไอออนไนซ์เสริมการสะสมอิสระและฟังก์ชั่นอื่น ๆ

(3) แหล่งกำเนิดแมกนีตรอนโดยใช้การออกแบบสนามแม่เหล็กที่เป็นนวัตกรรมปรับปรุงอัตราการใช้งานเป้าหมายมากกว่า 30%;

(4) แหล่งสะสมไอที่ จำกัด ด้วยแม่เหล็กความน่าเชื่อถือและง่ายต่อการรักษาโครงสร้างสามารถบรรลุการสะสมการเคลือบอย่างรวดเร็วและละเอียด

ประเภทการเคลือบทั่วไป:

(1) ME-TAC, การเคลือบคอมโพสิต TAC โลหะ, ใช้กันอย่างแพร่หลาย

(2) ME-DLC, การเคลือบคอมโพสิตโลหะ DLC ที่ใช้กันอย่างแพร่หลาย

(3) ME-TAC-DLC, การเคลือบคอมโพสิต TAC-DLC ในขณะที่ได้รับความแข็งพื้นฐานและแรงผูกพันของ TAC มีอัตราการสะสมและลักษณะที่ดีของ DLC

Express Plasma อุปกรณ์ฟิล์มบางที่เพิ่มขึ้นสามารถตระหนักถึงการรวมกันของ TAC-DLC ซึ่งช่วยเพิ่มแรงผูกพันอย่างมากเมื่อเทียบกับ CVD ที่เรียบง่ายในขณะที่ลดขนาดอนุภาคของ PVD และทำให้เวลากระบวนการสั้นลง

Express Plasma อุปกรณ์ฟิล์มบางที่เพิ่มขึ้นสามารถบรรลุความหลากหลายของกระบวนการ C การสะสมฟิล์ม, TAC ชุบไอออนบริสุทธิ์, การกักเก็บแม่เหล็กการปลดปล่อย DLC, ชั้นแอโนดไอออนชุบแหล่ง DLC ฯลฯ

Express Plasma อุปกรณ์ฟิล์มบางที่ปรับปรุงแล้วมีอุปกรณ์สแกนและซอฟต์แวร์การสแกนแม่เหล็กไฟฟ้าซึ่งสามารถควบคุมทิศทางลำแสงของพลาสมาได้ที่จุดและเวลาคงที่ช่วยปรับปรุงปัญหาการเคลือบอย่างสม่ำเสมอและความสม่ำเสมอของชั้นฟิล์มเตาเผาทั้งหมดต่ำกว่า± 5%; แสดงการออกแบบสนามแม่เหล็กที่ดีที่สุดและการออกแบบการทำความเย็นการบำรุงรักษาง่ายความเสถียรของอุปกรณ์ที่ดี

อินเทอร์เฟซ man-machine ที่เป็นมิตรการบันทึกข้อมูลกระบวนการแบบเรียลไทม์เอื้อต่อการควบคุมคุณภาพการวิเคราะห์ที่ยากการพัฒนากระบวนการใหม่

Express โครงการนี้เป็นอุปกรณ์แบบครบวงจร บริษัท Source Source ให้บริการโซลูชันที่สมบูรณ์รวมถึงสูตรการเคลือบที่มีความเสถียร