การเคลือบสูญญากาศเป็นเทคโนโลยีที่สะสมโลหะโลหะผสมสารประกอบและวัสดุอื่น ๆ บนพื้นผิวของวัตถุเพื่อสร้างฟิล์มบาง ๆ ในสภาพแวดล้อมสูญญากาศผ่านวิธีการทางกายภาพหรือทางเคมี นี่คือการแนะนำโดยละเอียด:
หลักการ:
•การสะสมไอทางกายภาพ (PVD): การใช้กระบวนการทางกายภาพเช่นการระเหยและการสปัตเตอร์เพื่อเปลี่ยนวัสดุการเคลือบให้เป็นอะตอมหรือโมเลกุลของก๊าซซึ่งจะสะสมบนพื้นผิวพื้นผิวเพื่อสร้างฟิล์มบาง ๆ ตัวอย่างเช่นในการเคลือบระเหยวัสดุเคลือบจะถูกทำให้ร้อนเพื่อระเหยกลายเป็นก๊าซ อะตอมหรือโมเลกุลของก๊าซจะเคลื่อนที่แบบสุ่มในสุญญากาศและสะสมบนพื้นผิวพื้นผิวเมื่อพวกเขาสัมผัสกับมัน
•การสะสมไอสารเคมี (CVD): ผ่านปฏิกิริยาทางเคมีของสารเคมีก๊าซบนพื้นผิวพื้นผิวสารของแข็งจะถูกสร้างขึ้นและสะสมเพื่อสร้างฟิล์มบาง ๆ ตัวอย่างเช่นภายใต้สภาวะอุณหภูมิและความดันบางอย่างสารประกอบก๊าซที่มีองค์ประกอบของวัสดุเคลือบจะถูกย่อยสลายและทำปฏิกิริยาบนพื้นผิวพื้นผิวและผลิตภัณฑ์ที่เป็นของแข็งจะสะสมอยู่บนพื้นผิว
วิธีหลัก:
•การเคลือบระเหยสูญญากาศ: วัสดุเคลือบถูกวางไว้ในแหล่งระเหยและความร้อนเพื่อระเหยช่วยให้อะตอมหรือโมเลกุลสามารถหลบหนีและกลั่นตัวบนพื้นผิวพื้นผิวเพื่อสร้างภาพยนตร์ มันมักใช้สำหรับการเคลือบฟิล์มโลหะฟิล์มอิเล็กทริก ฯลฯ
•การเคลือบสปัตเตอร์: ลำแสงไอออนที่สร้างขึ้นโดยแหล่งไอออนทิ้งระเบิดวัสดุเป้าหมายของการเคลือบทำให้อะตอมหรือโมเลกุลสปัตเตอร์ออกมาและฝากบนพื้นผิวพื้นผิวเพื่อสร้างภาพยนตร์ มันสามารถใช้ในการเคลือบโลหะโลหะผสมและฟิล์มผสมต่างๆ
•การเคลือบไอออน: ภายใต้สภาวะสูญญากาศวัสดุการเคลือบจะถูกทำให้เป็นไอออนและเร่งความเร็วโดยสนามไฟฟ้าเพื่อฝากบนพื้นผิวพื้นผิว มันมีการยึดเกาะที่แข็งแกร่งและคุณภาพของภาพยนตร์ที่ดี
ฟิลด์แอปพลิเคชัน:
•สนามออปติคัล: การเคลือบเลนส์ออปติคัลสามารถเพิ่มการส่งผ่านหรือลดการสะท้อนกลับปรับปรุงคุณภาพการถ่ายภาพ นอกจากนี้ยังสามารถใช้ในการผลิตกระจกตัวกรองและส่วนประกอบแสงอื่น ๆ
•ฟิลด์อิเล็กทรอนิกส์: ในการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์มันถูกใช้เพื่อทำอิเล็กโทรดโลหะ, ชั้นสิ่งกีดขวาง, ชั้นฉนวน, ฯลฯ ; นอกจากนี้ยังสามารถใช้ในการเคลือบส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์เพื่อปรับปรุงความต้านทานการสึกหรอและความต้านทานการกัดกร่อน
•สนามตกแต่ง: การเคลือบทอง, เงิน, โครเมียมและภาพยนตร์โลหะอื่น ๆ บนพื้นผิวของเครื่องประดับ, นาฬิกา, ผลิตภัณฑ์ฮาร์ดแวร์ ฯลฯ สามารถเพิ่มความน่าดึงดูดและความมันวาวของพวกเขารวมถึงเพิ่มความต้านทานการสึกหรอและการต้านทานการกัดกร่อน
•สนามเครื่องมือ: การเคลือบฟิล์มแข็งเช่นไทเทเนียมไนไตรด์และไทเทเนียมคาร์ไบด์บนพื้นผิวของเครื่องมือตัดและแม่พิมพ์สามารถปรับปรุงความแข็งความต้านทานการสึกหรอและการหล่อลื่นและยืดอายุการใช้งาน
