ซีรีส์ EBE-V600 เป็นแพลตฟอร์ม-การสะสมไอทางกายภาพ (PVD) ระดับอุตสาหกรรมที่ออกแบบมาสำหรับการเคลือบฟิล์มบาง-ที่แม่นยำของส่วนประกอบทางแสง อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ และวัสดุขั้นสูง ด้วยการส่งลำแสงอิเล็กตรอนที่เน้นด้วยแม่เหล็กพลังงานสูง-ไปยังวัสดุต้นทางภายในถ้วยใส่ตัวอย่างที่ระบายความร้อนด้วยน้ำ- ระบบจึงมีอัตราการระเหยที่รวดเร็ว ในขณะเดียวกันก็รักษาภาระความร้อนที่แยกออกจากผนังห้องเพาะเลี้ยง

สถาปัตยกรรมนี้รวมเอาแหล่งกำเนิดอิเล็กตรอนหลาย-ช่องและเซ็นเซอร์ไมโครบาลานซ์คริสตัลควอตซ์คู่ (QCM) เข้าด้วยกัน เพื่อให้มั่นใจถึงความเที่ยงตรงของฟิล์มปริมาณสัมพันธ์และการควบคุมความหนาที่สม่ำเสมอในอิเล็กทริกหรือสแต็กโลหะหลาย-ชั้น

ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิค

พารามิเตอร์ทางเทคนิค	ค่าข้อมูลจำเพาะ
เรขาคณิตของห้องและวัสดุ	ภาชนะทรงกระบอก Φ600 มม. x 600 มม. ภายในเคลือบด้วยไฟฟ้า SS304 พร้อมแจ็คเก็ตน้ำหล่อเย็นภายนอก
แรงดันฐานขั้นสูงสุด	<= 5.0 x 10^-5 Pa (achieved via 12-hour bake-out and high-vacuum pumping)
ปั๊ม-รอบเวลาดาวน์	<= 15 minutes (From atmosphere to 1.0 x 10^-3 Pa)
พลังปืนอิเล็กตรอน	การกำหนดค่าหลายช่องขนาด 6 kW ถึง 12 kW- พร้อมการโก่งลำแสง 270 องศา
ความจุเตาเบ้าหลอม	4 ถึง 6 กระเป๋า (ถ้วยใส่ตัวอย่างทองแดง/กราไฟท์แบบเปลี่ยนได้ ปริมาตร 15cc ถึง 40cc ต่อกระเป๋า)
การหมุนขั้นของพื้นผิว	ดาวเคราะห์หรือไดรฟ์ตรงความเร็วตัวแปร 0 ถึง 30 RPM
ช่วงการทำความร้อนของพื้นผิว	สภาพแวดล้อมถึง 600 องศาผ่านอาร์เรย์หลอดไฟฮาโลเจนแบบลูปปิด-แบบ PID
การตรวจสอบความหนา	เซ็นเซอร์ QCM คู่พร้อมระบบควบคุมการตอบสนองชัตเตอร์อัตโนมัติ

คุณสมบัติที่สำคัญ

การโก่งตัวของแม่เหล็ก 270 องศา E-ปืน:แยกเส้นใยทังสเตนออกจากเส้นทางไอโดยตรง ป้องกันการลัดวงจร-และยืดอายุการใช้งานระหว่างช่วงการบำรุงรักษา

การควบคุมการกวาดแบบดิจิตอล:รูปแบบแรสเตอร์ที่ตั้งโปรแกรมได้จะกระจายพลังงานอิเล็กตรอนอย่างสม่ำเสมอทั่วทั้งพื้นผิวการระเหย ซึ่งช่วยลดการเกิดรูเข็มและการระเหยพิเศษระหว่างการสะสมของโลหะผสม

สถาปัตยกรรมสุญญากาศแบบแยกส่วน:สายปั๊มสุญญากาศที่มีความหยาบและสูง-จะถูกแยกออกจากโครงสร้างห้องหลักเพื่อระงับการถ่ายโอนแรงสั่นสะเทือนทางกลในระหว่างการเติบโตของฟิล์ม

เมทริกซ์ความปลอดภัยของการเชื่อมต่อฮาร์ดแวร์:การตรวจสอบ PLC แบบเรียลไทม์-สำหรับการไหลของน้ำหล่อเย็น การป้อนกลับแรงดันไฟฟ้าสูง- แรงดันลม และความสมบูรณ์ของซีลประตู

การกำหนดค่าระบบสุญญากาศ

วงจรย่อย-สุญญากาศได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมเพื่อการหมุนเวียนอย่างรวดเร็วและแรงดันฐานต่ำเพื่อลดการรวมตัวของก๊าซที่ตกค้าง (H2O, O2, N2) ในฟิล์มที่กำลังเติบโต:

ปั๊มสุญญากาศสูง-:ปั๊มโมเลกุลเทอร์โบ 1200 ลิตร/วินาที-ที่สนับสนุนโดยปั๊มใบพัดหมุนแบบสอง- (หรือการกำหนดค่าปั๊มแบบดรายสโครลเพื่อให้เป็นไปตามข้อกำหนดของห้องสะอาด)

วาล์วแยก:วาล์วประตูการนำไฟฟ้าสูง-กระตุ้นด้วยนิวแมติกเพื่อแยกห้องระหว่างการทำงานของโหลด

การวัดสูญญากาศ:เกจวัดไอออไนเซชันแบบรวม Pirani และ Cold Cathode ครอบคลุมช่วงต่อเนื่องตั้งแต่บรรยากาศถึง 10^-6 Pa

วัสดุฟิล์มและพื้นผิว

แหล่งระเหยที่เข้ากันได้

ออกไซด์และไดอิเล็กทริก:SiO2, TiO2, Ta2O5, Al2O3, HfO2

โลหะบริสุทธิ์:Au, Ag, อัล, Ti, Cr, Pt, Ni

เซมิคอนดักเตอร์และตัวนำ:Si, Ge, ITO (อินเดียมทินออกไซด์)

การใช้งาน

ตัวกรองสัญญาณรบกวนทางแสง:การสะสมสแต็คหลายชั้น-ดัชนีสูงและ-ดัชนีต่ำ-สำหรับตัวกรองผ่านแถบความถี่แคบ- และกระจกเลเซอร์

การผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์:การสร้างหน้าสัมผัสแบบโอห์มมิก การสะสมของเกทออกไซด์ และชั้นเมล็ดโลหะ

การวิจัย OLED และจอแสดงผล:การสะสมแคโทดของโลหะบางและการทดสอบการสร้างทู่แบบอินทรีย์/อนินทรีย์หลาย-ชั้น

การเคลือบทนไฟแข็ง:ชั้นป้องกันการสึกหรอ-สำหรับส่วนประกอบทางกลและการบินและอวกาศ

การปรับแต่ง

การขยายห้อง:ความสูงของภาชนะเพิ่มเติมหรือรูปทรงสี่เหลี่ยมที่ออกแบบมาเพื่อการรวมเครื่องมือแบบคลัสเตอร์

การรวมแหล่งที่มา:แหล่งกำเนิดการระเหยความร้อนพร้อมกัน (เรือต้านทาน) รวมกับปืนลำแสงอิเล็กตรอน

ไอออน-การสะสมแบบช่วย (IAD):การบูรณาการแหล่งกำเนิดไอออน-ฮอลล์หรือลิตรลิตรสำหรับการเพิ่มความหนาแน่นของฟิล์มและการปรับความเค้น

สถาปัตยกรรมซอฟต์แวร์:การเขียนโปรแกรมสูตร PLC/HMI ที่สอดคล้องกับเฟรมเวิร์กระบบอัตโนมัติของ Siemens S7 หรือ Beckhoff

การควบคุมคุณภาพ

การทดสอบการรั่วของฮีเลียมสเปกโตรมิเตอร์:การเชื่อมทุกห้องได้รับการทดสอบตามเกณฑ์การปฏิเสธที่ < 1 x 10^-9 Pa·m3/s ก่อนที่จะรวมเข้าด้วยกัน

การปฏิบัติตามข้อกำหนดทางไฟฟ้า:การทดสอบความทนทานต่อไดอิเล็กตริกแรงดันสูง-และการตรวจสอบความต่อเนื่องของสายดินตามหลักเกณฑ์ CE/UL

การทดสอบการยอมรับจากโรงงาน (FAT):กราฟแรงกดฐานการบันทึกการทดสอบการวิ่งต่อเนื่อง 72{{1} ชั่วโมง- ชั่วโมง ความสามารถในการทำซ้ำแบบกวาด e-beam และเวลาตอบสนองแบบอินเตอร์ล็อค เอกสารการทดสอบที่จัดส่งมาพร้อมกับเครื่อง

การติดตั้งและการสนับสนุนทางเทคนิค

การว่าจ้างไซต์:วิศวกรที่ได้รับการรับรองจากโรงงาน-จะจัดการการจัดตำแหน่งทางกล การตรวจสอบการรั่วไหลของสุญญากาศ การควบคุมการเชื่อมต่อระบบสาธารณูปโภค และการดำเนินการสอบเทียบเบื้องต้น

การฝึกอบรมทางเทคนิค:การฝึกอบรมโปรโตคอลการปฏิบัติงานและการบำรุงรักษานอกสถานที่ 3- วัน ซึ่งครอบคลุมถึงการเปลี่ยนไส้หลอด การสร้างวาล์วสุญญากาศขึ้นใหม่ และการแก้ไขสูตรอาหาร

เอกสารที่ส่งมอบ:ตัวประสานทางเทคนิคที่สมบูรณ์ รวมถึงแผนผัง P&ID ไดอะแกรมการเดินสายไฟฟ้า ไฟล์สำรอง PLC และการแยกรายการชิ้นส่วนอะไหล่

คำถามที่พบบ่อย

ถาม: ไส้หลอดทังสเตน e-gun มีอายุการใช้งานเท่าใด และจะให้บริการอย่างไร

ตอบ: ภายใต้แรงกดดันในการทำงานมาตรฐาน (<= 10^-4 Pa) and clean source materials, filament lifespan averages 30 to 50 operational hours. A quick-access vacuum flange allows cartridge exchange within 20 minutes without venting the entire manifold.

ถาม: ระบบป้องกันการคายในระหว่างการสะสมของออกไซด์ได้อย่างไร

ตอบ: เครื่องกำเนิดกวาดแบบดิจิตอลจะกระจายพลังงานอิเล็กตรอนผ่านเมทริกซ์แรสเตอร์ที่คำนวณไว้บนเม็ดออกไซด์ ซึ่งจะช่วยขจัดความร้อนสูงเกินไปเฉพาะจุด ป้องกันจุดเดือดที่ระเบิดได้ และยับยั้ง-การดีดหยดเล็กๆ

ถาม: โครงสร้างพื้นฐานด้านสาธารณูปโภคใดบ้างที่จำเป็นที่ไซต์การติดตั้ง

A: Cooling Water: Supply pressure 0.25 MPa to 0.4 MPa, flow rate >= 30 ลิตร/นาที อุณหภูมิ 18 องศา ถึง 25 องศา
โครงข่ายไฟฟ้า: 3- เฟส, 380V ± 10%, 50/60 Hz (หรือกำหนดค่าจากโรงงานตามมาตรฐานภูมิภาค)
อากาศอัด: อากาศแห้ง 0.5 MPa ถึง 0.7 MPa สำหรับตัวกระตุ้นวาล์วนิวแมติก

ถาม: การเข้าถึงการวินิจฉัยระยะไกลรวมอยู่ในระบบควบคุมหรือไม่

ก. ใช่. พอร์ตอีเธอร์เน็ตแบบแยกรองรับการเชื่อมต่อ VPN ที่ปลอดภัยสำหรับการดึงบันทึก PLC ระยะไกลและการแก้ไขปัญหาซอฟต์แวร์โดยทีมวิศวกรของเรา

ป้ายกำกับยอดนิยม: อุปกรณ์ฟิล์มบางระเหยลำแสงอิเล็กตรอน ประเทศจีนผู้ผลิตอุปกรณ์ฟิล์มบางระเหยลำแสงอิเล็กตรอน ซัพพลายเออร์ โรงงาน