อุปกรณ์ฟิล์มบางระเหยลำแสงอิเล็กตรอน

พารามิเตอร์

ช่วงข้อมูลจำเพาะ

หมายเหตุ / การกำหนดค่ามาตรฐาน

แรงดันฐานขั้นสูงสุด

< 5.0 × 10^-6 Pa

ได้มาจากกลุ่มปั๊มโมเลกุลแบบไครโอเจนิกหรือเทอร์โบ-

ขนาดห้อง

ปรับแต่งได้ (เส้นผ่านศูนย์กลางภายใน 500 มม. ถึง 1200 มม.)

เหล็กกล้าไร้สนิม 304L / 316L ขัดด้วยไฟฟ้า-

E-พิกัดกำลังปืน

6 kW ถึง 15 kW (เครื่องกำเนิดไฟฟ้าแบบหลายช่อง-)

การโก่งตัวของลำแสงที่ตั้งโปรแกรมได้และการจัดทำดัชนีถ้วยใส่ตัวอย่างหลาย-

อัตราการสะสม

0.1 นาโนเมตร/วินาที ถึง 10 นาโนเมตร/วินาที

การควบคุมลูป-เวลาปิด-แบบเรียลไทม์ผ่านจอภาพคริสตัลควอตซ์

ความสม่ำเสมอของความหนาของฟิล์ม

< ±1% to ±2% across standard substrates

อุปกรณ์ยึดพื้นผิวดาวเคราะห์หรือโดมพร้อมการหมุนความเร็วตัวแปร

อุณหภูมิพื้นผิว

โดยรอบถึง 800 องศา

การทำความร้อนแบบกระจายแบบบูรณาการพร้อมการตอบสนองความร้อนแบบ PID