ภาพรวมผลิตภัณฑ์
อุปกรณ์ฟิล์มบางแบบช่วยระเหยของซีรีส์ IAE-Ion- ผสมผสานการสะสมไอทางกายภาพ (PVD) เข้ากับการยิงลำแสงไอออนแบบเรียลไทม์- ด้วยการส่งไอออนพลังงานไปบนพื้นผิวระหว่างการระเหยของความร้อนหรือลำแสงอิเล็กตรอน- ระบบจะถ่ายโอนโมเมนตัมไปยังอะอะตอมที่ควบแน่น ซึ่งเป็นการปรับโครงสร้างจุลภาคของฟิล์มที่กำลังเติบโต
การถ่ายโอนพลังงานจลน์นี้กำจัดช่องว่างในแนวตั้ง ระงับการดูดซึมความชื้น และล็อคดัชนีการหักเหของแสงจากการเปลี่ยนแปลงของความชื้นโดยรอบ สร้างขึ้นสำหรับการทำงานหลายกะ-อย่างต่อเนื่องในสายการผลิตออปติกและเซมิคอนดักเตอร์ แพลตฟอร์มนี้รองรับซับสเตรตตั้งแต่ออปติกเลเซอร์ความแม่นยำสูง-ไปจนถึงเวเฟอร์ซิลิคอน
-
![ไอออน-อุปกรณ์ช่วยระเหยสุญญากาศ]()
ไอออน-อุปกรณ์ช่วยระเหยสุญญากาศระบบการระเหยสูญญากาศแบบช่วยด้วยไอออน-รวมแหล่งกำเนิดการระเหยด้วยลำแสงความร้อนหรืออิเล็กตรอน-ในสุญญากาศสูงเข้ากับแหล่งกำเนิดไอออนแบบฮอลล์-ประเภท Kaufman หรือจุดสิ้นสุด-...ดูเพิ่มเติม -
![ไอออน-ระบบช่วยสะสมฟิล์มบาง]()
ไอออน-ระบบช่วยสะสมฟิล์มบางระบบการสะสมฟิล์มบางด้วยไอออน-รวมการระเหยของลำแสงอิเล็กตรอน/ความร้อนแบบ-พ็อกเก็ต{2}}หลายช่องเข้ากับแหล่งกำเนิดไอออนประเภท-ส่วนปลาย-ฮอลล์หรือลิตร{5}}ประสิทธิภาพสูง ในระหว่างการสะสมไอทางกายภาพ (PVD)...ดูเพิ่มเติม -
![อุปกรณ์ช่วยระเหยด้วยลำแสงไอออน]()
อุปกรณ์ช่วยระเหยด้วยลำแสงไอออนระบบ IBAE ผสมผสานลำแสงอิเล็กตรอน-หรือการระเหยด้วยความร้อนเข้ากับแหล่งกำเนิดไอออนลำแสงกว้าง- การระดมไอออนพร้อมกันในระหว่างการเจริญเติบโตของฟิล์มจะถ่ายเทพลังงานจลน์ไปยังอะอะตอมที่ควบแน่น...ดูเพิ่มเติม -
![ไอออน-อุปกรณ์ช่วยสะสมฟิล์มบาง]()
ไอออน-อุปกรณ์ช่วยสะสมฟิล์มบางอุปกรณ์ช่วยการตกสะสมฟิล์มบางของไอออนซีรีส์ IA-- ผสมผสานการระเหยความร้อนของลำแสงอิเล็กตรอน-เข้ากับแหล่งกำเนิดไอออนของฮอลล์ไอออนแบบ Kaufman หรือ End- การทิ้งไอออนที่มีพลัง...ดูเพิ่มเติม -
![ไอออน-ระบบฟิล์มบางช่วยระเหย]()
ไอออน-ระบบฟิล์มบางช่วยระเหยระบบฟิล์มบางแบบช่วยระเหย-ด้วยไอออน (IAE) ผสานรวมการสะสมไอทางกายภาพ (PVD) เข้ากับการระดมยิงลำแสงไอออนอันทรงพลัง ในระหว่างการระเหยของลำแสงความร้อนหรืออิเล็กตรอน- แหล่งกำเนิดไอออนของฮอลล์ไอออนเสริม...ดูเพิ่มเติม -
![ไอออน-อุปกรณ์ฟิล์มบางช่วยระเหย]()
ไอออน-อุปกรณ์ฟิล์มบางช่วยระเหยระบบ-ไอออนเกรดอุตสาหกรรม-ช่วยการระเหย (IAE) ที่รวมการระเหยของลำแสงอิเล็กตรอนหลาย-พ็อคเก็ตอิเล็กตรอน-เข้ากับแหล่งกำเนิดลำแสงไอออนพลังงานสูง (การกำหนดค่า End-Hall หรือ Kaufman)...ดูเพิ่มเติม
ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิค
|
พารามิเตอร์ |
ข้อมูลจำเพาะ |
|
แรงดันฐานขั้นสูงสุด |
< 5.0 × 10⁻⁵ Pa (achieved within 45 mins via cryogenic/turbomolecular pumping) |
|
แหล่งที่มาของการระเหย |
ปืนลำแสงหลาย-พ็อกเก็ต E- (4 × 15cc ถึง 40cc) และแหล่งความร้อนแบบต้านทาน |
|
ประเภทแหล่งกำเนิดไอออน |
แหล่งกำเนิดไอออนแบบ Gridless End-Hall / Kaufman- (แรงดันลำแสง: 50 – 1500 V, กระแสไอออน: 0.1 – 3 A) |
|
การควบคุมความหนาของฟิล์ม |
ไมโครบาลานซ์คริสตัลควอตซ์ (QCM) + ระบบตรวจสอบด้วยแสง (OMS) ความแม่นยำ ± 0.1 นาโนเมตร |
|
การยึดพื้นผิว |
อุปกรณ์จับยึดการหมุนของดาวเคราะห์ รัศมีโดมที่ปรับแต่งตามเรขาคณิตของพื้นผิว |
|
การทำความร้อนพื้นผิว |
แผงทำความร้อนแบบ Radiant สูงถึง 350 องศา โดยมีความสม่ำเสมอของ PID ± 2 องศา |
|
สถาปัตยกรรมการควบคุม |
PLC + PC อุตสาหกรรม, การดำเนินการตามสูตรอัตโนมัติ, การบันทึกข้อมูลตามมาตรฐาน SECS/GEM |
ไอออน-กระบวนการช่วยสะสม
การสร้างไอ:
วัสดุถูกระเหยออกจาก-เบ้าหลอมลำแสงหรือเรือเทอร์มอลที่อัตราการสะสมที่ควบคุม (0.1 – 2.0 นาโนเมตร/วินาที)
01
การโอนโมเมนตัม:
ไอออนพลังงาน (Ar⁺, O⁺) โจมตีพื้นผิวของซับสเตรตพร้อมกับฟลักซ์ไอที่มาถึงจากลำแสง E- หรือแหล่งความร้อน
02
การปรับเปลี่ยนโครงสร้างจุลภาค:
ผลกระทบของไอออนช่วยเพิ่มการเคลื่อนที่ของพื้นผิว adatom ป้องกันการเติบโตของเกรนแบบเรียงเป็นแนว และบรรลุความหนาแน่นเกือบ{0}}เป็นกลุ่ม (ความหนาแน่นของการบรรจุ > 99%)
03
การแก้ไขปริมาณสัมพันธ์:
ตัวช่วยไอออนรีแอกทีฟ (O₂) ช่วยให้มั่นใจได้ถึงการเกิดออกซิเดชันที่สมบูรณ์ของซับ-ออกไซด์ในฟิล์มโลหะออกไซด์ (เช่น Ta₂O₅, Nb₂O₅, SiO₂) ซึ่งกำจัดแถบการดูดซับในสเปกตรัม UV- NIR
04
วัสดุฟิล์ม
ออกไซด์:
SiO₂, Ta₂O₅, TiO₂, Nb₂O₅, HfO₂ (ความเสถียรของดัชนีการหักเหของแสงสูงสำหรับตัวกรองแสง)
ฟลูออไรด์:
MgF₂, LaF₃ (ชั้นดัชนีการหักเหของแสงต่ำสำหรับการเคลือบ AR บรอดแบนด์)
โลหะ:
Al, Ag, Au, Ti (ชั้นการยึดเกาะและแผ่นสะท้อนแสงแบบโลหะ)
การใช้งาน
เลนส์เลเซอร์และความแม่นยำ:
ตัวกรองแบนด์พาส กระจกไดโครอิก และการเคลือบป้องกันด้วยเลเซอร์ต้องใช้เกณฑ์ความเสียหายที่เกิดจากเลเซอร์ (LIDT) สูง และการเปลี่ยนแปลงสเปกตรัมเป็นศูนย์ภายใต้ความเครียดจากความร้อน
ฝาครอบกระจก LiDAR:
ฟิล์มบางที่ทนทานต่อ-แสงสะท้อน (AR) และ-ป้องกันความสกปรก ทนทานต่อสภาพอากาศกลางแจ้งที่รุนแรง
บรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์:
ชั้นห่อหุ้มกั้นความชื้น-และแผ่นสัมผัสโลหะที่สะสมไว้ที่อุณหภูมิพื้นผิวต่ำ
เซ็นเซอร์ชีวการแพทย์:
การเคลือบสัญญาณรบกวนทางแสงที่เข้ากันได้ทางชีวภาพสำหรับชิปไมโครฟลูอิดิกในการวินิจฉัย
การปรับแต่ง
ห้องเพาะเลี้ยงและเค้าโครงภายในได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมเพื่อรองรับรอยเท้าการผลิตและข้อกำหนดกระบวนการเฉพาะ:
ขนาดห้อง:
ปรับขนาดได้ตั้งแต่ R=600 หน่วย R&D จนถึง R=1200 มม. ระบบการผลิตที่มีกำลังการผลิตสูง-
แพคเกจสูบน้ำ:
กำหนดค่าได้ด้วยปั๊มโมเลกุลเทอร์โบ Maglev, ปั๊มแช่แข็ง และแนวรองรับโบลเวอร์ Roots ตามความต้องการปริมาณก๊าซ
การรวมแหล่งที่มา:
การกำหนดค่าแหล่งกำเนิดไอออนคู่-หรือการตั้งค่าการสะสม-ร่วมสำหรับโลหะผสมที่ซับซ้อนและฟิล์มไล่ระดับสีหลาย-
ระดับอัตโนมัติ:
บูรณาการกับระบบถ่ายโอนซับสเตรตห้องสะอาดอัตโนมัติ (EFEM / เครื่องมือคลัสเตอร์สุญญากาศ)
การควบคุมคุณภาพ
การตรวจจับการรั่วไหล:
ห้องสุญญากาศทุกห้องได้รับการทดสอบการรั่วไหลของฮีเลียม-โดยใช้แมสสเปกโตรมิเตอร์ (อัตราการรั่วไหล < 1.0 × 10⁻¹⁰ Pa·m³/s)
การตรวจสอบย้อนกลับส่วนประกอบ:
วาล์วสุญญากาศ ตัวควบคุมการไหลของมวล (MFC) และอุปกรณ์จ่ายไฟที่มาจากแบรนด์อุตสาหกรรมระดับ Tier-1 ที่ผ่านการรับรอง (MKS, Inficon, VAT)
การทดสอบการยอมรับจากโรงงาน (FAT):
ดำเนินการ-ทดสอบเพื่อยืนยันแรงดันฐาน เส้นโค้งการสูบ ความเสถียรของแหล่งจ่าย และความทนทานในห้องเปล่าต่อเนื่อง 24{{2} ชั่วโมงก่อนจัดส่ง
การตรวจสอบมาตรวิทยา:
ตัวอย่างที่ตรวจสอบผ่านเครื่องสเปกโตรโฟโตมิเตอร์ (การส่งผ่าน/การสะท้อนแสง) และกล้องจุลทรรศน์แรงอะตอม (ความหยาบผิว Ra < 0.5 นาโนเมตร)
การติดตั้งและการสนับสนุนทางเทคนิค
คู่มือการเตรียมสถานที่:
ข้อกำหนดด้านสาธารณูปโภคที่ครอบคลุมก่อนการส่งมอบ (การไหลของน้ำหล่อเย็น/แรงดัน อากาศอัดในห้องสะอาด การกระจายพลังงาน การระบายไอเสีย)
การว่าจ้างแบบครบวงจร:
วิศวกรบริการภาคสนามจัดการการประกอบเครื่องจักรกล การอบสุญญากาศ- การสอบเทียบลำแสงไอออน และการลงนามสูตรกระบวนการเริ่มต้น-ที่-ไซต์งาน
การฝึกอบรมผู้ปฏิบัติงาน:
การฝึกอบรมมือที่มีโครงสร้าง-ครอบคลุมถึงการบำรุงรักษาตามปกติ ความปลอดภัยของสุญญากาศ การทำงานของซอฟต์แวร์ และการแก้ไขปัญหา
การสนับสนุนวงจรชีวิต:
อินเทอร์เฟซการวินิจฉัยระยะไกลสำหรับการแก้ไขปัญหาซอฟต์แวร์อย่างรวดเร็ว สต็อกสินค้าที่มีการสึกหรอวิกฤตในระดับภูมิภาค (เส้นใย ถ้วยใส่ตัวอย่าง โล่) จะถูกจัดส่งภายใน 48 ชั่วโมง
คำถามที่พบบ่อย
เรา{0}}เป็นที่รู้จักดีว่าเป็นหนึ่งในผู้ผลิตและซัพพลายเออร์อุปกรณ์ฟิล์มบางที่ใช้การระเหย-ชั้นนำในประเทศจีน หากคุณกำลังจะซื้ออุปกรณ์ฟิล์มบางที่ช่วยระเหย-ไอออนแบบกำหนดเองที่ผลิตในประเทศจีน ยินดีรับรายการราคาจากโรงงานของเรา หากต้องการคำปรึกษาด้านราคาโปรดติดต่อเรา
