อุปกรณ์ช่วยระเหยด้วยลำแสงไอออน

ระบบ IBAE ผสมผสานลำแสงอิเล็กตรอน-หรือการระเหยด้วยความร้อนเข้ากับแหล่งกำเนิดไอออนลำแสงกว้าง- การระดมไอออนพร้อมกันในระหว่างการเจริญเติบโตของฟิล์มจะถ่ายเทพลังงานจลน์ไปยังอะอะตอมที่ควบแน่น กำจัดโครงสร้างจุลภาคแบบเรียงเป็นแนว และทำให้เกิดฟิล์มบางที่มีความหนาแน่นเกือบ-มวล-ที่มีความหนาแน่นสูง โดยมีความชื้นน้อยที่สุด-ทำให้เกิดการเปลี่ยนแปลงทางสเปกตรัม

การโจมตีด้วยโหมดคู่-:การถ่ายโอนพลังงานจลน์ทำให้ฟิล์มหนาแน่นขึ้นที่อุณหภูมิพื้นผิวต่ำ ปกป้องเลนส์ที่ละเอียดอ่อนและซับสเตรตโพลีเมอร์

ความเสถียรของไอออนแบบลูป-แบบปิด:ตัวควบคุมการไหลของมวลในตัวจะรักษาฟลักซ์ไอออนให้คงที่ตลอดการดำเนินการผลิตที่ยาวนาน เพื่อให้มั่นใจถึงความสม่ำเสมอของแบทช์

ห้องสุญญากาศแบบโมดูลาร์:โครงสร้างสแตนเลส 304L พร้อม-ภายในขัดเงาด้วยไฟฟ้า (Ra<= 0.2 um) and Conflat metal seals.

การจัดลำดับอัตโนมัติ:PLC-ปั๊มที่จัดการ-การลง การสะสม และการระบายอากาศจะช่วยลดความแปรปรวนในการปฏิบัติงานให้เหลือน้อยที่สุด

ปั๊มหยาบ:รากแห้งแบบไร้น้ำมัน-และปั๊มใบพัดหมุน

ปั๊มสุญญากาศสูง:ปั๊มเทอร์โบโมเลกุลที่ลอยได้ด้วยแม่เหล็ก (1600 ลิตร/วินาที)

เกจ:ปิรานีผสม แคโทดเย็น และมาโนมิเตอร์เก็บประจุบาราตรอน

วาล์ว:นิวเมติกวาล์วประตูและมุมพร้อมลูกโซ่ความปลอดภัยของฮาร์ดแวร์

ออกไซด์:SiO2, Ta2O5, TiO2, Nb2O5, Al2O3

ฟลูออไรด์:MgF2, LaF3

โลหะ:Au, Ag, อัล, Ti, Cr

พื้นผิว:ซิลิกาผสม, BK7, เวเฟอร์ซิลิคอน, เจอร์เมเนียม, ซิงค์เซเลไนด์ (ZnSe) และโพลีอิไมด์ทนความร้อน-

เลนส์ที่แม่นยำ:ฟิลเตอร์ผ่านแถบแคบและการเคลือบ DWDM ที่ต้องการความยาวคลื่นตรงกลางที่เสถียร

เลนส์เลเซอร์:ตัวสะท้อนแสงระดับ-ความเสียหายสูง-และการเคลือบป้องกันแสงสะท้อน-

เซมิคอนดักเตอร์และโฟโตนิกส์:ชั้นป้องกันอิเล็กทริก ทู่ และท่อนำคลื่นแสง

พลังงานแสงอาทิตย์:การปรับเปลี่ยนอินเทอร์เฟซสื่อกระแสไฟฟ้าโปร่งใส (TCO)

ขนาดห้อง:เส้นผ่านศูนย์กลางที่ปรับขนาดได้ตั้งแต่ 600 มม. ถึง 1200 มม.

เค้าโครงแหล่งที่มา:บีมกันมากถึงสาม-และแหล่งความร้อนหลายจุดต่อแพลตฟอร์ม

ใน-มาตรวิทยาแหล่งกำเนิด:การตรวจสอบด้วยแสงบรอดแบนด์ (BOM) หรือการบูรณาการไมโครบาลานซ์คริสตัลควอตซ์ (QCM)

ระบบอัตโนมัติ:อินเทอร์เฟซการโหลดซับสเตรตแบบหุ่นยนต์เป็นไปตามมาตรฐาน SEMI

การตรวจจับการรั่วไหล:การทดสอบมวลสเปกโตรมิเตอร์ฮีเลียมต่อห้อง (ความไว<= 1 x 10^(-10) Pa*m^3/s).

การจัดหาส่วนประกอบ:แบรนด์อุตสาหกรรมระดับ Tier 1 (Inficon, MKS, Edwards, Siemens)

การยอมรับจากโรงงาน (FAT):การดำเนินการแห้งอย่างต่อเนื่อง 72 ชั่วโมงและการเคลือบการตรวจสอบเพื่อตรวจวัดดัชนีการหักเหของแสงและความสม่ำเสมอก่อนจัดส่ง

เอกสารประกอบ:แพ็คเกจภาษาอังกฤษที่สมบูรณ์ รวมถึงแผนผังไฟฟ้า ไดอะแกรม P&ID และซอร์สโค้ด PLC

บริการภาคสนาม:การติดตั้งแบบครบวงจร การสอบเทียบสุญญากาศ และการปรับแต่งสูตรโดยวิศวกรด้านการใช้งาน

การวินิจฉัยระยะไกล:โมดูล VPN ที่ปลอดภัยสำหรับซอฟต์แวร์และการแก้ไขปัญหากระบวนการ