อุปกรณ์ฟิล์มบางอาร์คไอออนบางหลาย-

ระบบการชุบไอออนแบบหลาย-อาร์กนี้ใช้การระเหยของอาร์คแคโทดเพื่อสะสมชั้นเคลือบแข็งที่มีความหนาแน่น-การยึดเกาะสูง และฟิล์มบางที่ใช้งานได้ ด้วยการพุ่งชนส่วนโค้งแรงดันไฟฟ้าสูง-กระแสและแรงดันต่ำ-บนเป้าหมายแคโทดที่เป็นของแข็ง วัสดุจะถูกระเหยและแตกตัวเป็นไอออนทันทีในสภาพแวดล้อมสุญญากาศสูง- เมื่อรวมกับก๊าซที่เกิดปฏิกิริยา (N2, O2 หรือ C2H2) ระบบจะสังเคราะห์การเคลือบสารประกอบปริมาณสัมพันธ์โดยตรงบนพื้นผิวที่เป็นโลหะหรือไม่ใช่-โลหะ สถาปัตยกรรมนี้ออกแบบมาเพื่อการผลิตทางอุตสาหกรรมอย่างต่อเนื่องทำให้มั่นใจได้ถึงการแพร่กระจายของส่วนโค้งที่เสถียร การควบคุมปริมาณสัมพันธ์ที่แม่นยำ และชุดที่ทำซ้ำได้-ถึง-ประสิทธิภาพของฟิล์มเป็นชุด

เทคโนโลยีแคโทดอาร์คกรอง:ติดตั้งระบบบังคับเลี้ยวด้วยสนามแม่เหล็กและท่อกรอง-อนุภาค (หยด) มาโครเพื่อขจัดข้อบกพร่องที่พื้นผิว ส่งผลให้ได้ผิวสำเร็จที่เรียบเนียนเป็นพิเศษ-สำหรับส่วนประกอบที่มีความแม่นยำ

การควบคุมแก๊สรีแอกทีฟแบบลูป-แบบปิด:ตัวควบคุมการไหลของมวล (MFC) ที่เชื่อมโยงกับความดันรวมและผลป้อนกลับการปล่อยแสงจะรักษาแรงดันบางส่วนที่เสถียรในระหว่างการสังเคราะห์สารประกอบที่เกิดปฏิกิริยา

ระบบขับเคลื่อนฟิกซ์เจอร์ดาวเคราะห์แบบหลาย-แกน:แกนการหมุนและการหมุนที่เป็นอิสระช่วยให้มั่นใจได้ถึงการระดมไอออนที่สม่ำเสมอและการกระจายความหนาของชั้นเคลือบในรูปทรงเรขาคณิตสามมิติที่ซับซ้อน-

ท่อสุญญากาศแบบโมดูลาร์:ท่อร่วมสแตนเลสขัดเงาแบบไฟฟ้ามาตรฐาน ISO-มาตรฐาน ISO ช่วยลดการปล่อยก๊าซและลดความซับซ้อนของช่วงเวลาการบำรุงรักษาตามปกติ

การตรวจสอบย้อนกลับข้อมูลเป็นชุด:การบันทึกแรงดันห้องเพาะเลี้ยง แรงดันไบอัสของสารตั้งต้น กระแสอาร์ค และอัตราการไหลของก๊าซโดยอัตโนมัติเพื่อการตรวจสอบคุณภาพที่ครอบคลุม

ระบบย่อยสุญญากาศ-ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมเพื่อการหมุนเวียนที่รวดเร็วและการจัดการผลพลอยได้ของกระบวนการที่แข็งแกร่ง:

ขั้นตอนการหยาบ:ปั๊มใบพัดโรตารีหรือปั๊มสกรูแห้งที่จับคู่กับโบลเวอร์ Roots เพื่อสร้างสุญญากาศหยาบแบบไร้น้ำมัน-

ระยะสุญญากาศสูง:ปั๊มแพร่ที่มีไนโตรเจนเหลวกับดักเย็นหรือปั๊มโมเลกุล-ปริมาณงานสูง-เทอร์โบ (TMP) เลือกตามข้อกำหนดของห้องปลอดเชื้อและเป้าหมายรอบเวลา

วาล์วและมาตรวัด:วาล์วประตูนิวเมติกและวาล์วแยกส่วน-ที่มีความน่าเชื่อถือสูง การวัดค่าสุญญากาศแบบเต็ม-โดยใช้เกจ Pirani และเกจไอออไนเซชันแบบแคโทดร้อนที่รวมอยู่ใน PLC เพื่อความปลอดภัยแบบอินเทอร์ล็อก

แคโทดการระเหย
โลหะบริสุทธิ์:Ti, Cr, Al, Zr, Cu, TiAl อัลลอยด์, สแตนเลส

โลหะผสม / สารประกอบ:เป้าหมายการเผาผนึกแบบกำหนดเองที่จัดทำขึ้นสำหรับความแข็งเฉพาะ ค่าสัมประสิทธิ์การเสียดสี และความต้านทานต่อการเกิดออกซิเดชัน

วัสดุพื้นผิว
เหล็กกล้าเครื่องมือ:เหล็กความเร็วสูง- (HSS) เม็ดมีดทังสเตนคาร์ไบด์ เหล็กแม่พิมพ์งานเย็น/ร้อน

โลหะวิศวกรรม:โลหะผสมไททาเนียม เหล็กกล้าไร้สนิมที่มีโครงสร้าง อลูมิเนียม (ใช้การบำบัดล่วงหน้า-อย่างเหมาะสม)

เซรามิกทางเทคนิค:เซรามิกอุตสาหกรรมที่เลือกต้องมีการเตรียมส่วนต่อประสานที่เป็นสื่อกระแสไฟฟ้า

เครื่องมือตัดและขึ้นรูป
ประเภทการเคลือบ:TiN, TiAlN, AlTiN, CrN

ผลกระทบต่อประสิทธิภาพ:เพิ่มความแข็งของพื้นผิวอย่างมีนัยสำคัญ (สูงถึง 3000+ HV) ลดค่าสัมประสิทธิ์การเสียดสี และต้านทานการเกิดออกซิเดชันจากความร้อน ได้รับการพิสูจน์แล้วว่าสามารถยืดอายุการใช้งานของดอกสว่าน ดอกเอ็นมิลล์ หัวตัดเตา และแม่พิมพ์ปั๊มภายใต้-สภาวะการตัดเฉือนด้วยความเร็วสูง

ส่วนประกอบยานยนต์
การใช้งาน:แหวนลูกสูบ ก้านกระทุ้ง ชิ้นส่วนฉีดเชื้อเพลิง และฮาร์ดแวร์ตกแต่งภายนอกหรืออุปกรณ์ตกแต่งภายนอกที่ต้องการ-ความต้านทานการสึกหรอและการกัดกร่อน

เครื่องมือแพทย์
การใช้งาน:การเคลือบ TiN และ TiCN ที่เข้ากันได้ทางชีวภาพบนมีดผ่าตัด สกรูยึดกระดูก และรากฟันเทียม เพื่อเพิ่มการสร้างทู่พื้นผิวและความทนทานต่อการสึกหรอ

ระบบได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมเพื่อให้ตรงกับรอยเท้าการผลิตและพารามิเตอร์กระบวนการเฉพาะ:

ขนาดห้อง:เส้นผ่านศูนย์กลางและความสูงภายในแบบกำหนดเองที่ปรับให้เหมาะกับขนาดแบทช์สูงสุดและน้ำหนักฟิกซ์เจอร์

การกำหนดค่าแหล่งที่มา:การผสมผสานแบบไฮบริดของแหล่งกำเนิดอาร์คและแคโทดแมกนีตรอนสปัตเตอร์ริ่งระนาบสำหรับสถาปัตยกรรมหลายชั้นและนาโนคอมโพสิต

ระดับอัตโนมัติ:เซลล์เดี่ยวแบบกึ่ง-อัตโนมัติหรือสายการผลิตแบบครบวงจรที่เข้ากันได้กับระบบการโหลดแบบหุ่นยนต์

การทดสอบการรั่วของฮีเลียม:ห้องสุญญากาศทุกห้องผ่านการทดสอบการรั่วของแมสสเปกโตรมิเตอร์อย่างเข้มงวดก่อนปล่อยจากโรงงาน (อัตราการรั่วไหล<= 1.0 x 10^-9 Pa*m^3/s).

ความปลอดภัยทางไฟฟ้า:ตู้ควบคุมที่สร้างขึ้นตามมาตรฐาน CE / UL พร้อมวงจรความปลอดภัยที่เชื่อมต่อกันอย่างสมบูรณ์

การทดสอบการยอมรับจากโรงงาน (FAT):การทดสอบก่อน-การจัดส่งจะดำเนินการตรวจสอบแรงดันสูงสุด ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิเครื่องทำความร้อน และความเสถียรของการจุดอาร์กที่ยั่งยืนตลอดวงจร 24 ชั่วโมงที่ต่อเนื่องกัน

แนวทางการเตรียมสถานที่:เอกสารเค้าโครงยูทิลิตี้ที่ครอบคลุมครอบคลุมอัตราการไหลของน้ำหล่อเย็น/ความดัน อากาศอัด การระบายอากาศเสีย และการลดพลังงาน

ใน-การว่าจ้างไซต์:กระบวนการและวิศวกรเครื่องกลที่มีประสบการณ์ถูกส่งไปเพื่อจัดตำแหน่งโครงสร้าง การตรวจสอบการรั่วไหลของสุญญากาศ การเชื่อมต่อทางไฟฟ้า- และการส่งมอบสูตรพื้นฐาน

การฝึกอบรมผู้ปฏิบัติงาน:การฝึกอบรมเชิงปฏิบัติ-ครอบคลุมถึงการบำรุงรักษาตามปกติ การเปลี่ยนเป้าหมายแคโทด และการแก้ปัญหา PLC

การวินิจฉัยระยะไกล:การรวมโมดูล VPN ที่ปลอดภัยสำหรับการอัปเดต-ซอฟต์แวร์แบบเรียลไทม์ การวิเคราะห์พารามิเตอร์ และ-การวินิจฉัยข้อบกพร่องที่ตอบสนองอย่างรวดเร็ว