ระบบฟิล์มบางอาร์คไอออนบางแบบหลาย-

ระบบฟิล์มบางอาร์คไอออนบางระดับอุตสาหกรรมใช้การระเหยของอาร์คแคโทดเพื่อฝากการเคลือบเซรามิกและโลหะที่มีความหนาแน่นสูง-การยึดเกาะสูงไว้บนพื้นผิวโลหะและโลหะผสม ด้วยการทำให้วัสดุแคโทดที่เป็นของแข็งกลายเป็นไอในสภาพแวดล้อมสุญญากาศผ่านทางอาร์กไฟฟ้าแรงสูง-กระแสและแรงดันต่ำ- ระบบจะแตกตัวเป็นไอออนไอของโลหะที่ทำปฏิกิริยากับก๊าซที่เกิดปฏิกิริยา (เช่น ไนโตรเจน อะเซทิลีน หรือออกซิเจน) เพื่อสร้างฟิล์มสารประกอบปริมาณสัมพันธ์

ออกแบบมาเพื่อสภาพแวดล้อมการผลิตที่ต่อเนื่อง แพลตฟอร์มนี้สามารถรองรับฟิกซ์เจอร์เครื่องมือเฉพาะสำหรับการประมวลผลเป็นชุดของเครื่องมือตัดที่มีความแม่นยำ ส่วนประกอบยานยนต์ และฮาร์ดแวร์อุตสาหกรรมที่ทนทานต่อการสึกหรอ-

แม่เหล็ก-แคโทดอาร์คพวงมาลัย:สนามแม่เหล็กแบบวงปิด-จะนำวิถีจุดโค้งแคโทดข้ามพื้นผิวเป้าหมาย ทำให้อัตราการใช้เป้าหมายเพิ่มขึ้นมากกว่า 60% และลด-การสร้างหยดมาโคร

อคติการปราบปรามอาร์คอย่างรวดเร็ว:การจ่ายไบแอสแบบพัลส์ความถี่สูง-รวมวงจรดับส่วนโค้งแบบเร็ว-เพื่อป้องกันไม่ให้ส่วนโค้งขนาดเล็ก-เฉพาะจุดไม่สร้างความเสียหายให้กับพื้นผิวของซับสเตรตในระหว่างการสะสมของปฏิกิริยา

สถาปัตยกรรมการสะสมโหมดคู่-:สถาปัตยกรรมระบบรองรับการบูรณาการอย่างรวดเร็วของแคโทดแมกนีตรอนสปัตเตอร์ริ่ง (UMS) ที่ไม่สมดุลควบคู่ไปกับแหล่งอาร์คมาตรฐานสำหรับการสะสมเลเยอร์ไฮบริด (เช่น เลเยอร์ไล่ระดับสี)

การควบคุมกระบวนการอัตโนมัติ:PLC จับคู่กับซอฟต์แวร์ควบคุมตามสูตรการทำงานของพีซีอุตสาหกรรม- ความดันห้องบันทึก อัตราการไหลของมวลก๊าซ (MFC) การไบแอสของสารตั้งต้น และกระแสอาร์คแบบเรียลไทม์เพื่อการตรวจสอบย้อนกลับแบบกลุ่ม

นิวเมติกวาล์วสูญญากาศ:วาล์วประตูและวาล์วมุมที่ทำงานด้วยระบบนิวแมติกจะแยกส่วนต่างๆ ของห้อง ช่วยลดเวลาการหยุดทำงานของการบำรุงรักษาและ-รอบการหยุดทำงานของปั๊ม

การอพยพระบบใช้การกำหนดค่าหลาย-ขั้นตอนที่ออกแบบมาเพื่อให้บรรลุแรงกดดันในการปฏิบัติงานภายใน 15 นาที:

ขั้นตอนการหยาบ:ปั๊มเชิงกลใบพัดหมุนแบบสอง- ขั้นขจัดอากาศในชั้นบรรยากาศหลักออกได้ถึง 10 Pa

ระดับกลาง:โบลเวอร์แบบรูทจะเร่งการเคลื่อนที่เชิงปริมาตรเพื่อลดช่วงแรงดันแบบครอสโอเวอร์

ระยะสุญญากาศสูง:ปั๊มกระจายน้ำมันหรือปั๊มไครโอเจนิก/โมเลกุลบรรลุแรงดันพื้นฐานสูงสุดที่ 5.0 x 10^-3 Pa ก่อนการเติมก๊าซทดแทนและการทำความสะอาดไอออน

ระบบย่อยการจัดส่งก๊าซ:เครื่องควบคุมการไหลของมวลแบบหลายช่อง- (MFC) จะวัดก๊าซในกระบวนการบริสุทธิ์สูง- (Ar, N2, C2H2, O2) โดยมีความทนทานต่อเสถียรภาพการไหลที่ +/- 1% เต็มสเกล

เป้าหมายแคโทด
เป้าหมายโลหะ:Ti, Cr, Al, Zr, TiAl (อัตราส่วนอะตอม 50/50, 67/33), ห้องน้ำ, เหล็กกล้าไร้สนิม

มาตรฐานความบริสุทธิ์:>หลอมและรีดด้วยสุญญากาศ=99.99%

วัสดุพื้นผิว
เหล็กกล้าเครื่องมือ:H13, SKD11, M2, D2 (ผ่านการบำบัดล่วงหน้า-และอบคืนตัวที่อุณหภูมิต่ำกว่าอุณหภูมิการสะสมของสารเคลือบ)

คาร์ไบด์:ทังสเตนคาร์ไบด์ซีเมนต์ (WC-Co)

โลหะผสมทางวิศวกรรม:โลหะผสมไทเทเนียม (TC4) เหล็กกล้าไร้สนิม (304/316) และโลหะผสมทองแดง (ขึ้นอยู่กับฟิกซ์เจอร์)

เครื่องมือตัดที่แม่นยำ:การสะสมของการเคลือบ TiAlN และ AlCrN บนหัวกัดทังสเตนคาร์ไบด์ซีเมนต์ทำให้มีความแข็งพื้นผิว 3300 - 3500 HV ข้อมูลการตรวจสอบภาคสนามแสดงให้เห็นอายุการสึกหรอของเครื่องมือเพิ่มขึ้น 2.5 เท่าภายใต้สภาวะการตัดเฉือนแบบแห้งที่ความเร็วสูง-

แม่พิมพ์และแม่พิมพ์:การชุบแข็งพื้นผิวของแม่พิมพ์ฉีดพลาสติก H13 และ SKD11 และแม่พิมพ์ปั๊มเพื่อป้องกันความล้าจากความร้อน การสึกหรอของกาว และการครูด

ส่วนประกอบยานยนต์:การเคลือบ DLC (เพชร- เช่นเดียวกับคาร์บอน) และ CrN ที่ต้านทานการสึกหรอ-ต่ำ - ที่ใช้กับแหวนลูกสูบ หมุดหัวฉีดน้ำมันเชื้อเพลิง และตัวยกวาล์ว เพื่อลดค่าสัมประสิทธิ์การเสียดสีขอบเขตที่ต่ำกว่า 0.1

ฮาร์ดแวร์ที่ใช้งานได้:พื้นผิวตกแต่งสวยงามแต่ทนทานต่อการสึกหรอ- (TiCN, ZrN) สำหรับอุปกรณ์สุขภัณฑ์ทางอุตสาหกรรมและส่วนประกอบทางกลระดับไฮเอนด์-

การกำหนดค่าทางวิศวกรรมปรับให้เข้ากับข้อจำกัดของสิ่งอำนวยความสะดวกและรูปทรงของส่วนประกอบ:

เรขาคณิตของห้อง:การกำหนดค่าประตูโหลดแบบหลุมแนวตั้ง-หรือแนวนอนด้านหน้า-

การแข่งขัน Jigging:ดาวเคราะห์ การหมุนรอบเดียว- หรือการติดตั้งดาวเทียมแบบกำหนดเองที่ปรับให้เหมาะกับรูปทรงเรขาคณิตของชิ้นงาน 3 มิติที่ซับซ้อน

การเลือกกองสูบน้ำ:ตัวเลือกการกำหนดค่าสำหรับแพ็คเกจการแพร่กระจายน้ำมัน โมเลกุลเทอร์โบ หรือปั๊มแช่แข็ง ขึ้นอยู่กับมาตรฐานของห้องคลีนรูมและ-เป้าหมายเวลาหยุดทำงานของปั๊ม

บูรณาการก๊าซและพลังงาน:หม้อแปลงไฟฟ้าแบบกำหนดเองสำหรับมาตรฐานกริดระดับภูมิภาค (เช่น 480V/60Hz, 415V/50Hz) และการบูรณาการกับระบบฟอกไอเสียแบบรวมศูนย์ฝั่งไคลเอ็นต์-

ระบบการสะสมทุกระบบผ่านการตรวจสอบคุณภาพอย่างเข้มงวดก่อนจัดส่ง:

การตรวจจับการรั่วของฮีเลียม:การทดสอบการรั่วไหลของฮีเลียมแมสสเปกโตรมิเตอร์ดำเนินการในห้องสุญญากาศและตะเข็บเชื่อมทั้งหมด (อัตราการรั่วไหล<= 1 x 10^-9 Pa*m^3/s).

การตรวจสอบความปลอดภัยทางไฟฟ้า:ความต้านทานของฉนวน ความต่อเนื่องของสายดิน และการทดสอบความทนทานต่อไดอิเล็กตริกแรงดันไฟฟ้าสูง-ที่เป็นไปตามมาตรฐานไฟฟ้า CE/IEC

ฟังก์ชันดรายรัน:การหมุนเวียนกลไกเชิงกล วาล์วนิวแมติก และเซ็นเซอร์อินเตอร์ล็อคน้ำหล่อเย็นต่อเนื่องเป็นเวลา 72 ชั่วโมง

การทดสอบการยอมรับกระบวนการ:การเคลือบตัวอย่างดำเนินการที่โรงงานผลิตเพื่อตรวจสอบความสม่ำเสมอของความหนาของฟิล์ม ความแข็ง และการยึดเกาะ (การทดสอบการขีดข่วน / การเยื้องแบบ Rockwell)

แนวทางการเตรียมสถานที่:เอกสารเค้าโครงสิ่งอำนวยความสะดวกที่ครอบคลุมซึ่งมีรายละเอียดข้อกำหนดในการรับน้ำหนักของพื้น ตำแหน่งท่อระบายไอเสีย ขนาดท่อร่วมน้ำ และจุดปล่อยไฟฟ้าที่จัดส่ง 4 สัปดาห์ก่อนการจัดส่ง

การว่าจ้าง:ใน-การติดตั้งที่ไซต์งาน การสอบเทียบสุญญากาศ และการเชื่อมต่อทางไฟฟ้า- ดำเนินการโดยวิศวกรบริการภาคสนาม

ส่งมอบสูตรกระบวนการ:สูตรการเคลือบพื้นฐาน (TiN, TiAlN) ได้รับการพัฒนา ทดสอบ และถ่ายโอนระหว่างการยอมรับของโรงงานหรือ{0}}การทดสอบการใช้งานที่ไซต์งาน

อะไหล่และการวินิจฉัย:โมดูลการวินิจฉัยระยะไกลที่รวมอยู่ใน PLC เพื่อการแก้ไขปัญหาอย่างรวดเร็ว โดยได้รับการสนับสนุนโดยการเก็บซีลที่สำคัญ เป้าหมายแคโทด และแผ่นป้องกันไว้ในพื้นที่