อุปกรณ์หลาย-การสะสมอาร์คไอออน

ระบบการสะสมอาร์คไอออนแบบหลาย-ทางอุตสาหกรรมสร้างฟิล์มบางที่มีความหนาแน่น-การยึดเกาะสูง ผ่านการระเหยอาร์กแคโทดิกแรงดันไฟฟ้าสูง-กระแสต่ำ- วัสดุเป้าหมายที่เป็นของแข็ง (แคโทด) จะถูกทำให้กลายเป็นไอในบรรยากาศก๊าซที่เกิดปฏิกิริยา (เช่น N2, O2 หรือ C2H2) เพื่อสังเคราะห์การเคลือบสารประกอบปริมาณสัมพันธ์ ออกแบบมาเพื่ออัตราการไอออไนเซชันที่สูงกว่า 80% อุปกรณ์นี้ให้ฟิล์ม-ถึง-ความแข็งแรงในการยึดเกาะของพื้นผิวที่ยอดเยี่ยม เหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมที่มีภาระทางกลที่รุนแรง

เทคโนโลยีอาร์คกรองแม่เหล็ก:คอยล์แม่เหล็กในตัวจะเบน-อนุภาคและหยดมาโครออกไปจากกระแสของสารตั้งต้น ทำให้เกิดพื้นผิวที่-หยดที่เรียบเนียนเป็นพิเศษ-สำหรับระบบออพติกและเครื่องมือตัดที่มีความแม่นยำ

การควบคุมการไหลของก๊าซแบบลูป-แบบปิด:ตัวควบคุมการไหลของมวล MKS ควบคุมความดันบางส่วนของก๊าซรีแอกทีฟภายในเกณฑ์ความเสถียร +/- 0.1 sccm ในระหว่างขั้นตอนการสะสมของปฏิกิริยา

การจัดการอุณหภูมิพื้นผิว:ช่องทำความร้อนแบบกระจายที่ตั้งโปรแกรมได้รวมกับการระบายความร้อนด้วยแก๊สอาร์กอนด้านหลังช่วยรักษางบประมาณความร้อนของพื้นผิวระหว่าง 150C ถึง 600C

สูตรกระบวนการอัตโนมัติ:สถาปัตยกรรมการควบคุมที่ใช้ PLC- ดำเนินการโปรโตคอลการสะสมหลาย-ขั้นตอน ตั้งแต่การทำความสะอาดไอออน การกัดแบบเกรเดียนต์ระหว่างชั้น ไปจนถึงการเคลือบฟังก์ชันเทอร์มินัล

ปั๊มหยาบ:การรวมกันของโบลเวอร์แบบรูทและปั๊มเชิงกลใบพัดหมุน (พื้นฐาน Leybold / Edwards)

ปั๊มสุญญากาศสูง:High-throughput diffusion pumps or magnetically suspended turbomolecular pumps (>= 3200 L/s).

การประเมินมูลค่าและการวางท่อ:วาล์วประตูสุญญากาศที่เป็นเหล็กสเตนเลสแบบนิวแมติก- วาล์วมุมแบบนิวแมติก และ-หน้าแปลน KF/ISO ที่ปิดผนึกแบบอีลาสโตเมอร์-ทดสอบโดยแมสสเปกโตรเมตรีฮีเลียม (<= 1.0 x 10^-9 Pa*m^3/s).

การตรวจสอบความดัน:เกจวัดไอออนไนซ์แบบ Pirani และ Cold Cathode ที่ให้การตอบสนองแบบเรียลไทม์-ข้ามชั้นบรรยากาศไปจนถึงช่วงสุญญากาศสูงพิเศษ-

วัสดุเป้าหมาย:Titanium (Ti), Chromium (Cr), Aluminum-Titanium (AlTi), Zirconium (Zr), Copper (Cu), Stainless Steel, and custom alloy targets (purity >= 99.95%).

วัสดุพื้นผิว:

• ซีเมนต์คาร์ไบด์ (WC-Co)
• เหล็กความเร็วสูง- (HSS)
• โลหะผสมเหล็ก (SKD11, 316L, 4140)
• โลหะผสมไทเทเนียม (Ti-6Al-4V)
• เซรามิกวิศวกรรมและ-ซูเปอร์อัลลอยทนความร้อน

เครื่องมือตัดและขึ้นรูป:การสะสมของการเคลือบ TiAlN, AlCrN และ TiCN บนดอกเอ็นมิลล์ เม็ดมีด หัวเตา และแม่พิมพ์ปั๊มเพื่อเพิ่มความแข็งของพื้นผิวเป็น 3200 HV และต้านทานการสึกหรอจากการเสียดสี

ส่วนประกอบยานยนต์:การสะสมของฮาร์ดคาร์บอน (DLC) และ CrN บนแหวนลูกสูบ หมุดฉีดเชื้อเพลิง และเพลาลูกเบี้ยว เพื่อลดค่าสัมประสิทธิ์การเสียดสีให้ต่ำกว่า 0.1 ภายใต้สภาวะการทำงานที่แห้ง

การปลูกถ่ายทางการแพทย์:การเคลือบการแพร่กระจายที่เข้ากันได้ทางชีวภาพของ TiN และ ZrN บนโคบอลต์-โครเมียมและข้อต่อหัวเข่าและสะโพกของโคบอลต์ ช่วยลดการชะล้างไอออนของโลหะและการเกิดเศษสึกหรอ

ฮาร์ดแวร์การบินและอวกาศ:สารเคลือบป้องกันการเกิดออกซิเดชัน-สำหรับใบพัดกังหันและชุดอุปกรณ์ยึดที่ทำงานที่เกณฑ์ทางความร้อนที่สูงขึ้น

เรขาคณิตของห้อง:การเจาะ-หลุมแนวตั้ง การบรรทุกด้านหน้าแนวนอน- หรือ-ผ่านประตูคู่-ผ่านการกำหนดค่าที่ปรับแต่งให้เหมาะกับเค้าโครงพื้นของร้านค้าที่มีอยู่-

การรวมแหล่งที่มา:การกำหนดค่าแบบไฮบริดที่รวมแหล่งกำเนิดอาร์คแคโทดเข้ากับแคโทดแมกนีตรอนสปัตเตอร์ (Ums) ที่ไม่สมดุลภายในห้องเดียว

จิ๊กกิ้งและฟิกซ์เจอร์:อุปกรณ์จับยึดเครื่องมือแบบหมุนดาวเคราะห์หรือแบบหมุนคู่-โดยเฉพาะที่ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมผ่านการจำลอง CAD/FEM สำหรับรูปทรงส่วนประกอบเฉพาะ (เช่น แม่พิมพ์อัดขึ้นรูปยาวหรือสกรูที่ใช้ในการผ่าตัดที่ซับซ้อน)

มาตรฐานการจัดการคุณภาพ:ออกแบบ ประดิษฐ์ และทดสอบภายใต้การจัดการคุณภาพ ISO 9001:2015 และระบบการจัดการสิ่งแวดล้อม ISO 14001

การตรวจสอบย้อนกลับด้านการบินและอวกาศและการแพทย์:การควบคุมกระบวนการและโปรโตคอลการจัดทำเอกสารสอดคล้องกับข้อกำหนด NADCAP AC7102 (การบำบัดความร้อน/การปรับปรุงพื้นผิว) อย่างสมบูรณ์เมื่อมีการร้องขอ

ความสมบูรณ์ของการรั่วไหล:ถังสุญญากาศทุกใบจะผ่านการทดสอบการรั่วของแมสสเปกโตรมิเตอร์ฮีเลียมก่อนที่จะลงนามในการประกอบ-

ความปลอดภัยทางไฟฟ้า:การทดสอบความต้านทานฉนวนไฟฟ้าแรงสูง-และการตรวจสอบความต่อเนื่องของการต่อสายดินตามมาตรฐาน CE / IEC

หมดการทดสอบ:การทดสอบความทนทานของการทำงานแบบแห้งต่อเนื่อง-เป็นเวลา 72{{1} ชั่วโมงสำหรับไดรฟ์แบบหมุนเชิงกล สวิตช์ไหลหล่อเย็นด้วยน้ำ และระบบเชื่อมต่อ PLC

เอกสารที่ส่งมอบ:ใบรับรองการทดสอบโรงงานวัสดุ (MTC) ใบรับรองการทดสอบการรั่วไหลของสุญญากาศ แพ็คเกจแผนผังทางไฟฟ้า และรายงานการสอบเทียบเซ็นเซอร์ที่ติดตามย้อนกลับได้ของ NIST-

แนวทางการเตรียมสถานที่:Comprehensive utility layout documentation covering cooling water flow rates (>= 30 ม.^3/ชม.) ช่วงอุณหภูมิแวดล้อม การระบายอากาศเสีย และกำลังไฟฟ้าตก (3 เฟส, 380V/480V, 50/60Hz)

บริการการว่าจ้าง:บน-การวางตำแหน่งเชิงกลของไซต์งาน การรวมท่อสุญญากาศ การเชื่อมต่อทางไฟฟ้า และการเพิ่มประสิทธิภาพสูตรพื้นฐานที่ดำเนินการโดยวิศวกรบริการภาคสนามอาวุโสประจำถิ่น

การฝึกอบรมผู้ปฏิบัติงาน:การฝึกอบรมนอกสถานที่แบบเข้มข้น 5- วันเกี่ยวกับการบำรุงรักษาตามปกติ การแก้ไขปัญหาสุญญากาศ โปรโตคอลการเปลี่ยนเป้าหมาย และการปรับพารามิเตอร์สำหรับโครงสร้างฟิล์มเฉพาะ

สินค้าคงคลังอะไหล่:ส่วนประกอบที่มีการสึกหรอที่สำคัญ (ฉนวนแคโทด แผงป้องกันพื้นที่มืด ซีลไดนามิก และอาร์เรย์เส้นใย) จัดเก็บไว้ตามภูมิภาคเพื่อจัดส่งภายใน 48 ชั่วโมง