อุปกรณ์ฟิล์มบางแบบอาร์ค PVD แบบหลาย-

ระบบ Multi-Arc PVD สำหรับงานอุตสาหกรรมใช้การสะสมไอทางกายภาพของอาร์คแคโทดิกไอออไนเซชันสูง-เพื่อฝากชั้นเคลือบแข็งที่มีปริมาณสัมพันธ์หนาแน่น (เช่น TiN, TiAlN, CrN และ DLC) ลงบนพื้นผิวโลหะ ออกแบบมาสำหรับศูนย์การเคลือบตามสัญญาที่มีปริมาณมากและสายการผลิตแบบเชลย ระบบนี้ปรับความต้านทานการสึกหรอ การลดแรงเสียดทาน และเสถียรภาพทางความร้อนให้เหมาะสมสำหรับส่วนประกอบที่มีความแม่นยำ

แหล่งที่มาของ Cathodic Arc ที่กรองแล้ว:การกรองด้วยแม่เหล็กช่วยลดการสร้างอนุภาคขนาดมหึมา (หยด) ให้เหลือน้อยที่สุด ส่งผลให้ได้พื้นผิวที่เรียบเนียนยิ่งขึ้น (Ra < 0.1 um)

การกำหนดค่าแมกนีตรอนที่ไม่สมดุลของสนามแบบปิด: Enhances substrate-zone plasma density, achieving film adhesion scratch-test critical load Lc >= 80 N.

การควบคุมการไหลของก๊าซแบบคู่-:การควบคุมการตอบสนองแบบลูปปิด-โดยใช้มาโนมิเตอร์ความจุและ MFC ที่มีความแม่นยำสูง-สำหรับก๊าซที่เกิดปฏิกิริยา (N2, C2H2, O2)

แหล่งที่มาของการสะสมแบบโมดูลาร์:รูปแบบระนาบและทรงกระบอกที่สับเปลี่ยนได้ช่วยให้สามารถสลับเป้าหมายได้อย่างรวดเร็วสำหรับสถาปัตยกรรมหลาย-เลเยอร์

ปั๊มหยาบ:ใบพัดหมุนหรือแผ่นรองเชิงกลแบบสกรูแห้งเพื่อขจัดน้ำมันไหลย้อน

ปั๊มสุญญากาศสูง: Magnetic levitation turbo molecular pump (>= 3200 L/s) จับคู่กับโปรแกรมเป่าลมราก

ซีลและวาล์ว:วาล์วประตูนิวเมติก, หน้าแปลน ISO-F/CF พร้อมปะเก็นไวตัน/โลหะ อัตราการรั่วไหลของแมสสเปกโตรมิเตอร์ฮีเลียม < 1 x 10^-9 Pa*m^3/s

การตรวจสอบความดัน:รวมเกจพิรานีและเกจไอออไนซ์แคโทดเย็น

เป้าหมายแคโทดมาตรฐาน:Ti, Al, Cr, TiAl, Zr, Cu, Graphite (purity >= 99.95%).

วัสดุพื้นผิว:ซีเมนต์คาร์ไบด์ (WC-Co), HSS, โลหะผสมเหล็ก (SKD11, 40Cr), โลหะผสมไทเทเนียม (Ti-6Al-4V) และเหล็กกล้าไร้สนิม (304, 316L)

ก่อน-การรักษา:ต้องใช้การขจัดไขมันด้วยอัลตราโซนิกและการกัดด้วยพลาสมาไอออนอาร์กอนใน-แหล่งกำเนิด (การทิ้งระเบิด Ar+) เพื่อกำจัดออกไซด์ของพื้นผิวก่อนการสะสม

เครื่องมือตัดและขึ้นรูป:ดอกเอ็นมิล หัวกัดโฮบบิง และเม็ดมีดที่เคลือบด้วย TiAlN/TiN เพื่อยืดอายุการใช้งานของเครื่องมือได้ถึง 200% - 400% ภายใต้การตัดเฉือนแบบแห้ง

ส่วนประกอบยานยนต์:แหวนลูกสูบ พินหัวฉีด และก้านแทปที่เคลือบด้วย CrN/DLC เพื่อลดแรงเสียดทานและการครูดของขอบเขต

อุปกรณ์การแพทย์:สกรูออร์โทพีดิกส์ ใบมีดผ่าตัด และหลักยึดฟันที่ใช้ TiN/ZrN เพื่อความเข้ากันได้ทางชีวภาพและความต้านทานการกัดกร่อน

ฮาร์ดแวร์อุตสาหกรรม:Mold cavities and precision gears requiring high surface hardness (>3000 เอชวี)

ขนาดห้อง:เส้นผ่านศูนย์กลางภายในและโปรไฟล์ความสูงที่ปรับแต่งตามปริมาณการผลิตเฉพาะหรือชิ้นงานขนาดใหญ่

เค้าโครงแคโทด:ช่องแหล่งกำเนิดอาร์คที่กำหนดค่าได้ 4 ถึง 12 ช่องวางตำแหน่งแบบสมมาตรเพื่อให้แน่ใจว่ามีการกระจายความหนาภายใน +/- 8%

บูรณาการอคติ:ตัวเลือกการรวมไฮบริดสปัตเตอร์แมกนีตรอนกำลังสูง-กำลังสูง (HPPMS) ควบคู่ไปกับแหล่งกำเนิดแคโทดิกอาร์กมาตรฐาน

ระบบอัตโนมัติ:บูรณาการกับแขนโหลดอัตโนมัติและระบบดำเนินการผลิต SCADA

การตรวจสอบวัสดุ:Spectrographic analysis verifying raw target metallic purity (>= 99.95%).

การทดสอบโครงสร้าง:การตรวจสอบมิติ CMM ของห้องและการทดสอบแรงดันอุทกสถิตของช่องระบายความร้อน

การทดสอบการยอมรับจากโรงงาน (FAT):การทดสอบการทำงานแบบแห้งต่อเนื่อง-ชั่วโมงเป็นเวลา 72- ชั่วโมง ซึ่งครอบคลุมการหมุนเชิงกล เส้นโค้งลงปั๊ม และความเสถียรทางความร้อน

การตรวจสอบการเคลือบ:คูปองทดสอบประเมินผ่านพิน-บน-การทดสอบการสึกหรอของดิสก์ การเยื้องแบบ Rockwell และ-การวิเคราะห์ความหนาของ FESEM แบบตัดขวาง

การเตรียมสถานที่:เอกสารทางวิศวกรรมโดยละเอียดเกี่ยวกับขีดจำกัดการรับน้ำหนักของพื้น อัตราการไหลของน้ำหล่อเย็น และข้อกำหนดของบัสบาร์ไฟฟ้า

การว่าจ้าง:การติดตั้งที่ไซต์- การสอบเทียบแบบสุญญากาศ และการส่งมอบสูตรกระบวนการพื้นฐานโดยวิศวกรภาคสนาม

การฝึกอบรมผู้ปฏิบัติงาน:โปรแกรมที่มีโครงสร้างครอบคลุมการบำรุงรักษาตามปกติ การเปลี่ยนเป้าหมาย การค้นหารอยรั่ว และการแก้ไขปัญหา PLC ขั้นพื้นฐาน

การสนับสนุนวงจรชีวิต:การรวมอินเทอร์เฟซการวินิจฉัยระยะไกลสำหรับ-การบันทึกพารามิเตอร์แบบเรียลไทม์และการแยกข้อผิดพลาดอย่างรวดเร็ว