อุปกรณ์ฟิล์มบาง Cathodic Arc

ระบบการตกสะสมไอทางกายภาพ (PVD) ใช้อาร์คไฟฟ้ากระแสต่ำ-แรงดันและกระแสสูง-เฉพาะจุดเพื่อทำให้เป้าหมายแคโทดแข็งกลายเป็นไอเป็นพลาสมาที่แตกตัวเป็นไอออนอย่างสมบูรณ์ อัตราการไอออไนซ์สูง (40%-80%) ขับเคลื่อนพันธะระดับอะตอม-หนาแน่นและความเค้นอัดสูง ช่วยให้-อัตราการสะสมของการสึกหรอสูง-เป็นการเคลือบที่ทนทานและตกแต่งบนเหล็กความเร็วสูง (HSS) เครื่องมือตัดคาร์ไบด์ ส่วนประกอบยานยนต์ และอุปกรณ์ทางการแพทย์

ประสิทธิภาพไอออไนเซชันสูง:อัตราการไอออไนเซชันของพลาสมาสูงถึง 40%-80% ทำให้มั่นใจได้ถึงการยึดเกาะของฟิล์ม-ที่เหนือกว่ากับพื้นผิว

แคโทดแบบโมดูลาร์:การประกอบเป้าหมายการเปลี่ยนแปลงอย่างรวดเร็ว-ช่วยลดเวลาการหยุดทำงานของการบำรุงรักษาให้เหลือน้อยที่สุด เข้ากันได้กับแคโทดทรงกระบอกระนาบและหมุนได้

การควบคุมแก๊สแบบลูป-แบบปิด:ตัวควบคุมการไหลของมวล MKS รักษาแรงดันบางส่วนของก๊าซรีแอกทีฟที่แม่นยำสำหรับฟิล์มผสม (TiAlN, TiCN)

การหมุนดาวเคราะห์แบบหลาย-แกน:ไดรฟ์การหมุนและการหมุนที่ปรับแต่งได้ทำให้มั่นใจได้ถึงความสม่ำเสมอของความหนา (±5%) ตลอดรูปทรง 3 มิติที่ซับซ้อน

การทำงานของโหมดคู่-:รองรับการระเหยอาร์ค DC และการบูรณาการสปัตเตอร์อคติแบบพัลซ์สำหรับสถาปัตยกรรมหลาย-เลเยอร์

ปั๊มหยาบ:การรวมกันของปั๊มรากและใบพัดหมุนเพื่อการปั๊มที่รวดเร็ว-ลงจากบรรยากาศถึง 10 Pa

ปั๊มสุญญากาศสูง:ปั๊มเทอร์โบโมเลกุลที่ลอยได้ด้วยแม่เหล็ก (1600–3200 ลิตร/วินาที) รับประกันแรงดันฐานอิสระของไฮโดรคาร์บอน-

วาล์วและมาตรวัด:วาล์วประตูสุญญากาศสูง-แบบนิวแมติกที่มี Pirani และไอออไนเซชันแบบแคโทดเย็นเชื่อมต่อกันเพื่อป้องกันน้ำมันไหลย้อน

[คู่มือภาพสำหรับผู้ผลิตเว็บ]:แทรกแผนผังหรือภาพถ่ายที่ชัดเจนของเค้าโครงท่อประปาสุญญากาศ โดยเน้นที่ตำแหน่งปั๊มเทอร์โบโมเลกุลและตำแหน่งวาล์วประตูนิวแมติก

เป้าหมายแคโทดมาตรฐาน (ความบริสุทธิ์มากกว่าหรือเท่ากับ 99.95%)
โลหะทรานซิชัน:Ti, Cr, Zr, Al, TiAl (อัตราส่วนอะตอมมิก 50/50, 33/67), CrAl, W, Nb, Si

โลหะผสมและสารประกอบ:กราไฟท์ (สำหรับอินเทอร์เลเยอร์ DLC) สเตนเลส

ความเข้ากันได้ของพื้นผิวและการเตรียม-เบื้องต้น
วัสดุ:WC-เครื่องมือตัดร่วม มีดคัตเตอร์ เจาะ แม่พิมพ์ปั๊ม แม่พิมพ์ฉีด โลหะผสมไทเทเนียม (เกรด 5) และเหล็กกล้าไร้สนิม

ก่อน-การรักษา:การล้างไขมันด้วยตัวทำละลายอัลตราโซนิกและ-การทำความสะอาดด้วยการทิ้งระเบิดไอออนในแหล่งกำเนิด (การกัดด้วยพลาสมา Ar⁺) ภายในห้องเพาะเลี้ยงก่อนที่จะสะสม

เครื่องมือตัดและขึ้นรูป:การเคลือบ TiN, TiAlN และ AlCrN ช่วยเพิ่มความแข็งของพื้นผิวเป็น 3000–3500 HV ซึ่งช่วยลดการเกิดหลุมจากความร้อนและการสึกหรอจากการเสียดสี

ส่วนประกอบยานยนต์:สารเคลือบลดแรงเสียดทาน-สำหรับแหวนลูกสูบ หมุดฉีดเชื้อเพลิง และส่วนประกอบของเกียร์

การปลูกถ่ายทางการแพทย์:การเคลือบแข็ง TiN และ ZrN ที่เข้ากันได้ทางชีวภาพบนการเปลี่ยนข้อต่อออร์โธพีดิกส์และสกรูผ่าตัด

อุปกรณ์ตกแต่ง:การผลิตสเปกตรัมสี (ทองเหลืองทอง โรสโกลด์ สีดำกันเมทัล และสีเทาไทเทเนียม) ผ่านการปรับจูนแก๊สแบบรีแอคทีฟ

เรขาคณิตของห้อง:การกำหนดค่าการโหลดในแนวตั้ง (-แบบติดตั้งแบบหลุมหรือแบบตั้งพื้น-) หรือแบบแนวนอน-

การกำหนดค่าแหล่งที่มา:แหล่งกำเนิดท่อแม่เหล็กแบบแคโทดิกอาร์ค (FAC) ที่กรองแล้ว เพื่อกำจัดอนุภาคขนาดใหญ่สำหรับอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์แบบออปติคัลหรือแบบแม่นยำ

ระบบอัตโนมัติ:แขนโหลดแบบหุ่นยนต์ การผสานรวมการเชื่อมต่อ AGV และโปรโตคอลการบันทึกข้อมูล MES

การตรวจจับการรั่วไหล:การทดสอบแมสสเปกโตรมิเตอร์ฮีเลียมในห้องทั้งหมดและตะเข็บเชื่อม (น้อยกว่าหรือเท่ากับ 1 × 10⁻⁹ Pa·m³/s)

ความปลอดภัยทางไฟฟ้า:ความต้านทานของฉนวนไฟฟ้าแรงสูง- ความต่อเนื่องของสายดิน และการตรวจสอบการทำงานของการเชื่อมต่อ PLC

ทดลองวิ่ง (FAT):การทดสอบการทำงานแห้งต่อเนื่อง-ชั่วโมงเป็นเวลา 72- ชั่วโมงบวกกับการทดสอบการสะสมของการเคลือบมาตรฐาน ประเมินโดยการทดสอบ Calo (ความหนา) และเครื่องทดสอบรอยขีดข่วน (การยึดเกาะ)

แพคเกจเอกสาร:แผนผังทางไฟฟ้า ไดอะแกรม P&ID ซอร์สโค้ด PLC ใบรับรองวัสดุ และรายงาน FAT

การเตรียมสถานที่:แบบร่างโดยละเอียด ตัวชี้วัดน้ำหล่อเย็น และข้อกำหนดการจ่ายพลังงานที่จัดเตรียมไว้ให้ 4 สัปดาห์ก่อนการจัดส่ง

การว่าจ้าง:การประกอบเครื่องจักรที่ไซต์งาน- การสอบเทียบสุญญากาศ และการส่งมอบสูตรโดยวิศวกรกระบวนการอาวุโส

การฝึกอบรม:การสอนแบบลงมือปฏิบัติจริง-ครอบคลุมถึงการบำรุงรักษาฮาร์ดแวร์ การแก้ไขปัญหาสุญญากาศ และระเบียบการด้านความปลอดภัย

สนับสนุน:การผสานรวมซอฟต์แวร์วินิจฉัยระยะไกลสำหรับ-การแก้ไขปัญหา PLC แบบเรียลไทม์ สนับสนุนโดยสินค้าคงคลังอะไหล่ในภูมิภาค