อุปกรณ์การสะสมสูญญากาศคอมโพสิต PVD

แพลตฟอร์มการสะสมสูญญากาศแบบคอมโพสิต PVD ทางอุตสาหกรรมนี้รวมเอาเทคนิคการสะสมหลายแบบไว้ในสภาพแวดล้อมแบบห้องเดียวเพื่อสะสมฟิล์มบางที่เป็นโลหะ หลาย-ชั้น โลหะผสม หรือไดอิเล็กตริกที่สม่ำเสมอ สถาปัตยกรรมมาตรฐานรองรับการประมวลผลเป็นชุดสำหรับวัสดุพิมพ์ที่มีขนาดสูงสุด 400 มม. x 400 มม. พร้อมรูปทรงห้องแบบกำหนดเองสำหรับการจัดการม้วน-ถึง-ม้วนหรือ 3D

การผสานรวมหลาย-:รวมการระเหยด้วยความร้อนและการสปัตเตอร์แมกนีตรอนไว้ในวงจรดาวน์-ของปั๊มตัวเดียว ป้องกันการเกิดออกซิเดชันของอินเทอร์เฟซและลดเวลาในการจัดการ

ปิด-การควบคุมความหนาของลูป:เชื่อมต่อโดยตรงกับเซ็นเซอร์คริสตัลควอตซ์ไมโครบาลานซ์ (QCM) และระบบตรวจสอบแบบออปติคัลเพื่อควบคุมอัตราการสะสมแบบเรียลไทม์

สถาปัตยกรรมห้องโมดูลาร์:พอร์ตแบบหน้าแปลนช่วยให้สามารถติดตั้งแหล่งระเหยหรือปืนไอออนเพิ่มเติมได้อย่างรวดเร็ว โดยไม่ต้อง-ตัดเฉือนตัวห้องหลักใหม่

ความสามารถในการให้น้ำหนักของพื้นผิว:อุปกรณ์จ่ายไฟไบแอส RF/DC ให้การทำความสะอาดด้วยไอออนก่อนการสะสม เพิ่มการยึดเกาะของฟิล์มบนพื้นผิวโลหะและเซรามิกที่ยาก

การจัดลำดับกระบวนการอัตโนมัติ:การจัดการสูตรที่ควบคุมด้วย PLC-จะควบคุมวาล์วประตู ตัวควบคุมการไหลของมวล (MFC) การไล่ระดับกำลัง และการสั่งงานชัตเตอร์ เพื่อกำจัด-ความผันแปรที่เกิดขึ้นจากผู้ปฏิบัติงาน

ระบบย่อยสุญญากาศได้รับการจัดโครงสร้างเพื่อลดเวลารอบการทำงานและจัดการกับปริมาณก๊าซที่ปล่อยออกมาจากแหล่งวัสดุที่หลากหลาย:

ปั๊มหยาบและราก:ปั๊มสกรูแบบแห้งช่วยขจัดความเสี่ยง-การไหลเวียนของน้ำมันกลับ เป็นไปตามข้อกำหนด ISO Class 4 ของห้องปลอดเชื้อ

ปั๊มสุญญากาศสูง-: Combination of magnetically levitated turbo-molecular pumps (slot speed >= 1600 ลิตร/วินาที) และปั๊มแช่แข็งเสริมสำหรับความสามารถในการสูบน้ำสูง-

การตรวจสอบความดัน:การกำหนดค่าเกจช่วงคู่- (เกจ Pirani สำหรับการกัดหยาบ เกจไอออไนเซชัน/เกจปากกาสำหรับสุญญากาศสูง) เชื่อมต่อกับวาล์วนิรภัยเพื่อป้องกันการปนเปื้อนในชั้นบรรยากาศของเส้นใย

การตรวจจับการรั่วไหล:การรั่วไหลของฮีเลียม-ได้รับการตรวจสอบจนถึงเกณฑ์ < 1.0 x 10^-9 Pa·m^3/s ก่อนการยอมรับจากโรงงาน

วัสดุระเหย:
โลหะ:อัล, Cu, Ti, Cr, Ni, Au, Ag, Pt.

โลหะผสม:NiCr, TiAl, เป้าหมายสแตนเลส

ไดอิเล็กทริก / ออกไซด์:SiO2, TiO2, Al2O3, ITO (ผ่านการสปัตเตอร์ปฏิกิริยาหรือการรวมลำอิเล็กตรอน)

ความเข้ากันได้ของพื้นผิว:
เวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์:ซิลิคอน, GaAs สูงถึง 300 มม.

วัสดุพิมพ์แบบออปติก:กระจกออพติคอล ควอทซ์ และเลนส์แซฟไฟร์

พลาสติกวิศวกรรม:PI, PET, PC ผ่านการจัดการระบายความร้อนที่อุณหภูมิต่ำ-

พื้นผิวโลหะ:ฟอยล์โลหะและส่วนประกอบโลหะที่มีการประทับตรา

ออปโตอิเล็กทรอนิกส์:การสะสมของออกไซด์นำไฟฟ้าโปร่งใส (ITO) และชั้น-ป้องกันแสงสะท้อนหลาย- สำหรับแผงสัมผัสและหน้าต่างเซ็นเซอร์

อิเล็กทรอนิกส์กำลัง:การก่อตัวของหน้าสัมผัสโอห์มมิกความต้านทานต่ำ-และชั้นกั้นบนซิลิกอนและซับสเตรตเซมิคอนดักเตอร์แบนด์แกป-กว้าง

การเคลือบตามหน้าที่:การเคลือบโลหะที่ทนทานต่อการสึกหรอ{0}}และการตกแต่งบนตัวยึดทางอุตสาหกรรม การปลูกถ่ายทางการแพทย์ และฮาร์ดแวร์สำหรับผู้บริโภค

การกำหนดค่าอุปกรณ์ได้รับการปรับให้เข้ากับข้อจำกัดการผลิตเฉพาะ:

ขนาดห้อง:ปรับขนาดจากหน่วยตั้งโต๊ะ R&D (ลูกบาศก์ 400 มม.) ไปจนถึงระบบการผลิตที่มีกำลังการผลิตสูง- (ห้องทรงกระบอก/กล่องขนาด 1200 มม.)

โหลด-การล็อคบูรณาการ:การโหลดแบบแมนนวล-ด้านเดียวหรือการกำหนดค่าการล็อค-โหลดห้องคู่-เพื่อรักษาความสมบูรณ์ของสุญญากาศในโซนการสะสมหลักในระหว่างรอบการโหลดที่ต่อเนื่อง

การจัดการความร้อน:ขั้นของสารตั้งต้นที่ระบายความร้อนด้วยน้ำ- ให้ความร้อน (สูงถึง 600 องศา ) หรือตารางการทำความเย็นของสารตั้งต้นด้วยความเย็นเยือกแข็ง

อินเตอร์เฟซการควบคุม:การบูรณาการกับเครือข่าย SCADA หรือ MES ของโรงงานผ่านโปรโตคอล SECS/GEM หรือ Modbus TCP

ทุกหน่วยได้รับการตรวจสอบอย่างเข้มงวดก่อนจัดส่ง:

การทดสอบความสมบูรณ์ของสุญญากาศ:การตรวจสอบการตรวจจับการรั่วไหลของสเปกโตรมิเตอร์มวลฮีเลียมอย่างต่อเนื่องเป็นเวลา 48 ชั่วโมง

การทดสอบความปลอดภัยทางไฟฟ้า:ความต้านทานของฉนวน ความทนทานต่อไดอิเล็กทริก และการทดสอบความต่อเนื่องของสายดินที่เป็นไปตามข้อกำหนดด้านความปลอดภัยของ CE/UL

ฟังก์ชันดรายรัน:การหมุนเวียนอัตโนมัติอย่างต่อเนื่องเป็นเวลา 72 ชั่วโมงของบานประตูหน้าต่างแบบกลไก ตัวควบคุมการไหลของมวล และเครื่องกำเนิดพลังงาน

การดำเนินการยอมรับกระบวนการ:การทดสอบการยอมรับจากโรงงาน (FAT) ดำเนินการโดยใช้-วัสดุเป้าหมายที่ลูกค้าระบุ เพื่อตรวจสอบความเสถียรของอัตราการสะสมและความสม่ำเสมอของความหนา

แพคเกจเอกสาร:การส่งมอบทางวิศวกรรมที่สมบูรณ์ รวมถึงไดอะแกรม P&ID แผนผังไฟฟ้า สถาปัตยกรรมลอจิกแหล่งที่มาของ PLC และคู่มือการบำรุงรักษาผู้ใช้

ใน-การว่าจ้างไซต์:วิศวกรบริการภาคสนามควบคุมดูแลระบบเสื้อผ้า การเชื่อมต่อห้องคลีนรูม การตรวจสอบสาธารณูปโภค (น้ำหล่อเย็น, CDA, ไฟฟ้า) และการทดสอบการยอมรับไซต์ (SAT)

การฝึกอบรมผู้ปฏิบัติงาน:การฝึกอบรมมือที่มีโครงสร้าง-ครอบคลุมถึงการบำรุงรักษาตามปกติ การแก้ไขปัญหาสุญญากาศ และการแก้ไขสูตรสำหรับวิศวกรกระบวนการ

ความพร้อมของอะไหล่:ส่วนประกอบที่สำคัญ (ชุดซีล, แผ่นป้องกัน, เส้นใย, คริสตัล QCM) เก็บไว้เพื่อจัดส่งโดยตรง