ระบบการตกสะสมฟิล์มบางแบบไฮบริด PVD ผสมผสานการระเหยด้วยความร้อน การระเหยของลำอิเล็กตรอน (อี{0}}ลำ) และการสปัตเตอร์แมกนีตรอน RF/DC ภายในสถาปัตยกรรมสุญญากาศเดียว แพลตฟอร์มนี้ช่วยให้มีการสะสมตามลำดับหรือร่วม-ของโลหะ โลหะผสม และไดอิเล็กทริกโดยไม่ทำลายสุญญากาศ ป้องกันการเกิดออกซิเดชันระหว่างผิว ออกแบบมาสำหรับสถาบัน R&D และสายการผลิตนำร่อง ระบบจะจัดการวัสดุพิมพ์ได้สูงถึง 6 นิ้วด้วยการหมุนหลาย-แกนอัตโนมัติ
ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิค
|
พารามิเตอร์ |
ข้อมูลจำเพาะ |
|
แรงดันฐานขั้นสูงสุด |
< 5.0 x 10^-6 Pa (baked out) |
|
ปั๊ม-เวลาหยุดทำงาน |
< 15 minutes to 1.0 x 10^-3 Pa |
|
ขนาดพื้นผิว |
เวเฟอร์ขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางสูงสุด 6 นิ้ว / ตัวยึดแบบกำหนดเอง |
|
ความสม่ำเสมอของความหนาของฟิล์ม |
<= +/- 1% across a 4-inch substrate (planetary rotation) |
|
แหล่งที่มาของการสะสม |
ช่องลำแสงมากถึง 3-, เรือระบายความร้อน 2 ลำ, แคโทดแมกนีตรอน 4 อัน |
|
อุณหภูมิพื้นผิว |
อุณหภูมิโดยรอบถึง 800 องศาเซลเซียส (ควบคุมด้วย PID) |
|
วัสดุห้อง |
สแตนเลสขัดเงาด้วยไฟฟ้า 304L / 316L |
|
การปฏิบัติตามข้อกำหนดด้านความปลอดภัย |
เป็นไปตามมาตรฐาน CE; ส่วนประกอบที่สร้างขึ้นตามมาตรฐาน UL / NFPA เมื่อมีการร้องขอ |
คุณสมบัติที่สำคัญ
ซ็อกเก็ตโมดูลาร์:หน้าแปลนแหล่งกำเนิดแบบเปลี่ยนได้ช่วยให้สามารถกำหนดค่าใหม่ได้อย่างรวดเร็วระหว่างแคโทดสปัตเตอร์ริ่งและเครื่องระเหยลำแสงความร้อน/e{0}}
สถาปัตยกรรมการแยก:วาล์วประตูแบบนิวแมติกจะแยกห้องกระบวนการออกจากปล่องสุญญากาศสูง-เพื่อลดการเกิดอนุภาค
ใน-การติดตามสถานการณ์:พอร์ตเฉพาะสำหรับเซ็นเซอร์ควอตซ์คริสตัลไมโครบาลานซ์ (QCM) และสเปคโทรสโคปการปล่อยแสง (OES)
บมจ. ความปลอดภัยที่เชื่อมต่อกัน:การเชื่อมต่อฮาร์ดแวร์ป้องกันการเปิดใช้งานแหล่งที่มาระหว่างแรงดันสูง น้ำหล่อเย็นขัดข้อง หรือการละเมิดความปลอดภัย
การกำหนดค่าระบบสุญญากาศ
ปั๊มหยาบ:ปั๊มสโครลแบบแห้ง (30 ม.3/ชม.) เพื่อกำจัดกระแสน้ำย้อนกลับของไฮโดรคาร์บอน
ปั๊มสุญญากาศสูง:ปั๊มเทอร์โบโมเลกุลที่ลอยได้ด้วยแม่เหล็ก (1200 ลิตร/วินาที สำหรับ N2) พร้อมระบบดักไครโอเจนิก
เกจ:เซ็นเซอร์ Pirani และ Cold Cathode แบบรวมซึ่งครอบคลุมบรรยากาศถึง 10^-7 Pa
การอบขนม:แจ็คเก็ตฮีตเตอร์แบบตลับพร้อมผ้าห่มฉนวนภายนอกที่มีอุณหภูมิสูงถึง 150 องศาเซลเซียส
ความเข้ากันได้ของวัสดุและพื้นผิว
วัสดุระเหย:
โลหะ:Au, Ag, Al, Ti, Cr, Pt, Cu, Ni
ไดอิเล็กทริกและออกไซด์: SiO2, TiO2, Al2O3, ITO
เซมิคอนดักเตอร์:ศรี, จี
ประเภทพื้นผิว:เวเฟอร์คริสตัลซิลิคอนเดี่ยว- แก้ว ควอตซ์ ฟิล์มโพลีอิไมด์ และฟอยล์โลหะ
การใช้งาน
อุปกรณ์ออปโตอิเล็กทรอนิกส์:อิเล็กโทรดนำไฟฟ้าแบบโปร่งใส (ITO) และตัวสะท้อนแสงหลาย-ชั้นสำหรับ OLED และเซลล์แสงอาทิตย์
บรรจุภัณฑ์ไมโครอิเล็กทรอนิกส์:ภายใต้-bump metallization (UBM) และชั้นเมล็ดสำหรับบรรจุภัณฑ์ระดับเวเฟอร์-
การวิจัยและพัฒนาขั้นสูง:โครงสร้างอุปกรณ์ควอนตัม ฟิล์มบางของตัวนำยิ่งยวด และจุดเชื่อมต่ออุโมงค์แม่เหล็ก (MTJ)
ตัวเลือกการปรับแต่ง
ขนาดห้อง:ขนาดที่ขยายสำหรับซับสเตรตขนาด 12 นิ้วหรือการรวมช่องเก็บของหน้ารถ
การตั้งค่าแหล่งที่มา:ปริมาตรของถ้วยใส่ตัวอย่างแบบกำหนดเอง อุปกรณ์จ่ายไฟ RF Bias และโมดูล-การสะสมไอออน (IAD)
ระบบอัตโนมัติ:การจัดการสูตรบนหน้าจอสัมผัสหรือการปฏิบัติตามระบบอัตโนมัติในโรงงานของ SECS/GEM เต็มรูปแบบ
การควบคุมคุณภาพ
การทดสอบการรั่ว:การทดสอบสเปกโตรมิเตอร์มวลฮีเลียมต่อห้อง (< 1 x 10^-10 Pa*m^3/s threshold).
การตรวจสอบมิติ:การตรวจสอบ CMM ของแหล่งกำเนิด-ถึง-ระยะห่างของพื้นผิวและพิกัดความเผื่อของหน้าแปลน
การทดสอบทางไฟฟ้า:สวัสดี-การทดสอบหม้อ การตรวจสอบความต่อเนื่องของการต่อสายดิน และการตรวจสอบ EHS สำหรับสายไฟฟ้าแรงสูง-ทั้งหมด
การติดตั้งและการสนับสนุน
การทดสอบการยอมรับจากโรงงาน (FAT):การตรวจสอบก่อน-การจัดส่งสำหรับความดันพื้นฐาน ฟังก์ชันแหล่งที่มา และการหมุนเวียนอัตโนมัติที่โรงงานของเรา
การติดตั้งภาคสนาม:ใน-การจัดตำแหน่งทางกลของไซต์งาน การตรวจสอบการเชื่อมต่อของสาธารณูปโภค และการทดสอบการยอมรับของไซต์ (SAT)
เอกสารประกอบ:การส่งมอบที่สมบูรณ์ประกอบด้วยแผนผังไฟฟ้า ไดอะแกรม P&ID การสำรองข้อมูล PLC และใบรับรองการทดสอบโรงงาน
คำถามที่พบบ่อย
ถาม: ระบบสามารถสลับระหว่างปฏิกิริยาสปัตเตอร์และการระเหยด้วยความร้อนในรอบเดียวได้หรือไม่
ก. ใช่. บานประตูหน้าต่างแบบนิวแมติกแยกแต่ละแหล่ง ทำให้สามารถดำเนินการตามลำดับโดยไม่มีการหยุดชะงักของสุญญากาศ
ถาม: ข้อกำหนดด้านสาธารณูปโภคของสิ่งอำนวยความสะดวกมีอะไรบ้าง
ตอบ: ต้องใช้ไฟ 3 เฟส 380V/480V น้ำหล่อเย็น (18 องศา C ถึง 22 องศา C ที่ 0.3 MPa) อากาศอัด (0.5 ถึง 0.7 MPa) และท่อระบายไอเสียของปั๊มหยาบ
ถาม: มีการป้องกันการปนเปื้อนข้าม-ระหว่างแหล่งโลหะอย่างไร
ตอบ: ปล่องไฟแต่ละแหล่ง แผ่นกั้นทิศทาง และบานประตูหน้าต่างทางกายภาพจะลดการ-ข้ามวัสดุระหว่างการทำงานหลาย- แหล่ง
ป้ายกำกับยอดนิยม: ระบบการสะสมฟิล์มบางไฮบริด pvd ผู้ผลิตระบบการสะสมฟิล์มบางไฮบริด pvd ซัพพลายเออร์ โรงงาน, อุปกรณ์ฟิล์มบางล่าสุด, อุปกรณ์วัดการยึดเกาะของฟิล์มบาง ๆ, อุปกรณ์ทำความสะอาดฟิล์มบาง ๆ, ระบบเคลือบฟิล์มบาง ๆ, อุปกรณ์ฟิล์มบางสำหรับแอพพลิเคชั่นการผลิตอุปกรณ์การเรียนรู้ของเครื่องจักร, อุปกรณ์บรรจุภัณฑ์ฟิล์มบาง ๆ
