อุปกรณ์ PVD การระเหยอาร์ค

ระบบ PVD การระเหยอาร์คแคโทดทางอุตสาหกรรมใช้อาร์คไฟฟ้ากระแสต่ำ-แรงดันต่ำ- เพื่อทำให้เป้าหมายแคโทดแข็งกลายเป็นไอในสภาพแวดล้อมสุญญากาศ กลไกนี้ทำให้อัตราการไอออไนเซชันของโลหะมีมากกว่า 80% ทำให้มั่นใจได้ถึงความแข็งแรงในการยึดเกาะทางเคมีและการยึดเกาะของสารตั้งต้นสูง เมื่อเปรียบเทียบกับการระเหยด้วยความร้อนหรือการสปัตเตอร์แมกนีตรอนแบบมาตรฐาน

ออกแบบมาเพื่อการผลิตหลายกะ-อย่างต่อเนื่อง ระบบได้รวม-ห้องสุญญากาศสเตนเลสสตีลขนาดหนัก ชุดประกอบพวงมาลัยแคโทดแบบโมดูลาร์ และสถาปัตยกรรมการควบคุมกระบวนการอัตโนมัติที่ใช้ PLC-

ประสิทธิภาพไอออไนเซชันสูง:การระเหยของแคโทดโดยตรงจะทำให้เกิดพลาสมาของโลหะที่แตกตัวเป็นไอออนอย่างสมบูรณ์สำหรับการเติบโตของฟิล์มบางที่มีความหนาแน่น{0}}ควบคุมข้อบกพร่อง-ที่อุณหภูมิปานกลาง

ตัวเลือกอาร์คกรองแม่เหล็ก:คอยล์บังคับเลี้ยวแบบแม่เหล็กไฟฟ้าในตัวช่วยลดการหลุดของอนุภาคขนาดมหึมา (หยด) เพื่อให้การเคลือบมีความเรียบเนียนสำหรับเครื่องมือที่มีความแม่นยำ

การสะสมหลาย-หลายชั้น / การไล่ระดับสี:การดำเนินการหลายแคโทดแบบซิงโครนัส-ทำให้สามารถสังเคราะห์ชั้นการเปลี่ยนแปลงตามระดับ (เช่น Ti/TiN/TiAlN) โดยไม่ทำลายสุญญากาศ

ปิด-การควบคุมกระบวนการวนซ้ำ:ลูปป้อนกลับตามเวลาจริง-จะควบคุมการไหลของก๊าซที่เกิดปฏิกิริยา (ไนโตรเจน อะเซทิลีน ออกซิเจน) ผ่านตัวควบคุมการไหลของมวล (MFC) ที่มีความแม่นยำสูง- เพื่อรักษาแรงดันบางส่วนของเป้าหมาย

กองสูบน้ำ:การกัดหยาบเบื้องต้นใช้ปั๊มใบพัดโรตารี-ระดับสองซึ่งได้รับการสนับสนุนโดยโบลเวอร์ Roots การบรรลุสุญญากาศสูง-อาศัยปั๊มกระจายปริมาณงานสูง-หรือปั๊มเทอร์โบโมเลกุล

วาล์วและท่อ:วาล์วมุมแบบนิวเมติกและวาล์วประตูแบบอิเล็กโทรนิวแมติกส์จะแยกโซนห้องโดยอัตโนมัติ ท่อร่วมใช้ท่อสแตนเลสหน้าแปลน ISO/KF และ CF พร้อมซีลทองแดงชุบเงิน- หรือแหวน Viton O-

การตรวจจับการรั่วไหล:พอร์ตทดสอบแมสสเปกโตรมิเตอร์ฮีเลียมในตัวช่วยให้สามารถวินิจฉัยได้ถึง 10^-10 Pa*m^3/s

วัสดุแคโทดที่เข้ากันได้
โลหะบริสุทธิ์:Ti, Cr, Al, Zr, Cu, Mo, W, Ag, TiAl อัลลอยด์ (เช่น อัตราส่วนอะตอม 50/50 หรือ 33/67)

เป้าหมายแบบผสม:TiC, CrC, สุขา

ความเข้ากันได้ของพื้นผิว
เหล็กกล้าเครื่องมือ:เหล็กความเร็วสูง- (M2, H13) และซีเมนต์คาร์ไบด์ (WC-เม็ดมีดร่วม)

โลหะผสมโครงสร้าง:เหล็กกล้าไร้สนิม ไทเทเนียมอัลลอยด์ (TC4) และซูเปอร์อัลลอยที่มีนิกเกิล-

เซรามิกวิศวกรรม:ซิลิคอนไนไตรด์และอลูมินาพร้อมการบำบัดล่วงหน้า-เป็นสื่อกระแสไฟฟ้า

เครื่องมือตัดและขึ้นรูป:TiN, TiAlN, and AlTiN coatings on carbide drills and milling cutters. Achieves surface hardness >= 3000 HV และยืดอายุการสึกหรอของเครื่องมือได้ถึง 200% - 400%

ส่วนประกอบยานยนต์:สารเคลือบป้องกันการสึกหรอ-บนแหวนลูกสูบ ก้านวาล์ว และเข็มหัวฉีดน้ำมันเชื้อเพลิง ลดค่าสัมประสิทธิ์แรงเสียดทานลงเหลือ 0.15 - 0.25 ต่อเหล็ก

การปลูกถ่ายทางการแพทย์: Biocompatible TiN and ZrN layers applied to orthopedic joints and dental abutments, verified via scratch adhesion testing (Critical Load Lc >= 70 N).

แม่พิมพ์และแม่พิมพ์:การเคลือบ CrN หรือ DLC บนแม่พิมพ์ฉีดพลาสติกและแม่พิมพ์ปั๊มเพื่อลดการสึกหรอของกาวและช่วยให้ชิ้นงานหลุดออกได้ง่าย

เรขาคณิตของห้อง:การกำหนดค่าการโหลดแบบหลุมแนวตั้ง-หรือแนวนอนด้านหน้า-

เค้าโครงแหล่งที่มา:การวางตำแหน่งแคโทดแบบกำหนดเองที่ปรับแต่งมาสำหรับรูปทรงชิ้นงาน 3 มิติ (เช่น แม่พิมพ์อัดขึ้นรูปยาวหรือใบพัดกังหัน)

การอัพเกรดเครื่องกำเนิดอคติ:การบูรณาการโมดูลไฮบริดแมกนีตรอนสปัตเตอร์ริ่งแรงกระตุ้นกำลังสูง- (HIPIMS)

บูรณาการระบบอัตโนมัติ:อินเทอร์เฟซการโหลดแบบหุ่นยนต์และรางถ่ายโอนอุปกรณ์อัตโนมัติสำหรับสภาพแวดล้อมในห้องคลีนรูม

ก่อนการทดสอบการยอมรับของโรงงาน (FAT) ระบบต่างๆ จะต้องผ่าน:

การทดสอบการรั่วของสุญญากาศ:การตรวจสอบมวลสเปกโตรมิเตอร์ฮีเลียมบนรอยเชื่อมและซีลทั้งหมด

การตรวจสอบความปลอดภัยทางไฟฟ้า:การตรวจสอบความต้านทานของฉนวน ความต่อเนื่องของกราวด์ และตรรกะลูกโซ่ที่เป็นไปตามมาตรฐาน CE/UL

เบิร์นฟังก์ชัน-ใน:การทดสอบการทำงานแบบแห้งต่อเนื่อง 72{{1} ชั่วโมงสำหรับตัวขับเคลื่อนแบบหมุน สวิตช์การไหล และการสื่อสาร PLC

การทดสอบการเคลือบ:การสะสมของตัวอย่างได้รับการตรวจสอบโดยการวัดความหนาของฟิล์มปล่องภูเขาไฟ- และการทดสอบรอยขีดข่วนของรอยเยื้องแบบ Rockwell

การเตรียมสถานที่:Comprehensive utility layout documentation covering cooling water flow (>15 ม.^3/ชม., 20 - 25 องศา C) อากาศอัด การระบายอากาศ และหยดทางไฟฟ้า (380V/480V, 3 เฟส, 50/60 Hz)

การว่าจ้าง:การติดตั้งที่ไซต์- การสอบเทียบแบบสุญญากาศ และการเพิ่มประสิทธิภาพสูตรอาหารโดยวิศวกรกระบวนการอาวุโส

การฝึกอบรมผู้ปฏิบัติงาน:การสอนแบบลงมือปฏิบัติจริง-ครอบคลุมถึงการบำรุงรักษาตามปกติ การเปลี่ยนเป้าหมาย และการทำงานของ SCADA

หลัง-การสนับสนุนการขาย:การเข้าถึงการวินิจฉัยระยะไกลผ่าน VPN อุตสาหกรรมที่ปลอดภัย รับประกันการตอบสนองทางเทคนิคภายใน 24 ชั่วโมง