ระบบฟิล์มบางระเหยอาร์ค

ระบบฟิล์มบางระเหยแบบแคโทดอาร์กอุตสาหกรรมได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมเพื่อการสะสมตัวที่มีอัตราการสะสมสูง-ในการเคลือบโลหะ โลหะผสม และสารประกอบเซรามิกที่มีความหนาแน่นและยึดเกาะได้ดี การทำงานผ่านการปล่อยอาร์กกระแสไฟฟ้าแรงสูง-แรงต่ำ-บนเป้าหมายแคโทดที่เป็นของแข็ง ระบบจะระเหยวัสดุโดยตรงไปสู่สถานะพลาสมาที่มีไอออนสูง (อัตราส่วนไอออนของโลหะ 40% - 80%) สิ่งนี้จะขับเคลื่อนไอออนพลังงานเข้าสู่ส่วนต่อประสานของซับสเตรต ทำให้เกิดการยึดเกาะของสารเคลือบที่เหนือกว่าเมื่อเปรียบเทียบกับวิธีการระเหยด้วยความร้อนแบบมาตรฐานหรือวิธีการสปัตเตอร์แบบทั่วไป

สร้างขึ้นสำหรับสภาพแวดล้อมการผลิตและศูนย์วิจัยวัสดุขั้นสูง ระบบจะฝาก-ชั้นไตรโบโลยีที่ทนทานต่อการสึกหรอ- เช่น TiN, TiAlN, CrN และ AlCrN- ไว้บนเครื่องมือตัด การขึ้นรูปแม่พิมพ์ และส่วนประกอบทางกลที่มีความแม่นยำ ห้องสุญญากาศแบบโมดูลาร์รองรับการกำหนดค่าแคโทดหลาย-ที่ปรับขนาดได้ และการหมุนดาวเคราะห์ 3- แกนอัตโนมัติ เพื่อให้มั่นใจถึงความสามารถในการทำซ้ำแบบแบทช์-

เทคโนโลยีแคโทดบังคับเลี้ยวแบบแม่เหล็ก-:สนามแม่เหล็กแบบวงปิด-จะกวาดจุดแคโทดไปทั่วพื้นผิวเป้าหมาย ทำให้อัตราการใช้เป้าหมายเพิ่มขึ้นสูงกว่า 55% และยับยั้งปล่องเป้าหมายเฉพาะที่

พลาสม่าที่มีอัตราการไอออไนเซชันสูงสร้างอัตราส่วนไอออนของโลหะได้สูงถึง 80% ซึ่งให้พลังงานจลน์สูงสำหรับการเจริญเติบโตของฟิล์มหนาแน่นและการแพร่กระจายทางโลหะวิทยาในเชิงลึกที่ส่วนต่อประสานของซับสเตรต

การสะสมหลายชั้นที่ตั้งโปรแกรมได้-:PLC อุตสาหกรรมรวมกับสถาปัตยกรรมการควบคุม HMI ดำเนินการจัดลำดับอัตโนมัติของก๊าซปฏิกิริยา (N2, O2, C2H2) สำหรับการไล่ระดับฟังก์ชันและสถาปัตยกรรมการเคลือบแบบนาโนเลเยอร์

ใน-การกัดพลาสมาในแหล่งกำเนิด:ผสานรวมการทิ้งระเบิดไอออนโลหะและขั้นตอนการทำความสะอาดแมกนีตรอนที่ไม่สมดุลก่อนการสะสมเพื่อกำจัดออกไซด์ดั้งเดิมและสิ่งปนเปื้อนบนพื้นผิว

ระบบย่อยสุญญากาศได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมสำหรับรอบการปั๊มที่รวดเร็ว-และแรงดันการทำงานที่เสถียรภายใต้การป้อนก๊าซปฏิกิริยาอย่างต่อเนื่อง:

ขั้นตอนการหยาบและราก:ใบพัดหมุนหรือปั๊มสกรูแห้งที่ขับเคลื่อนโดยตรง- จับคู่กับเครื่องเป่าลม Roots ซึ่งจะอพยพห้องเพาะเลี้ยงจากความดันบรรยากาศถึง 10 Pa ภายใน 5 นาที

ระยะสุญญากาศสูง:ปั๊มเทอร์โบโมเลกุลแบบลอยด้วยแม่เหล็กให้ความเร็วในการสูบตามปริมาตรสูงสำหรับไอน้ำและก๊าซตกค้าง รักษาเป้าหมายแรงดันพื้นฐานที่ต่ำกว่า 5.0 x 10^-4 Pa

วาล์วและมาตรวัด:วาล์วประตูนิวแมติกและวาล์วมุมนิวแมติก-แบบไฟฟ้าที่ผสานรวมกับเกจผสม Pirani/Pening แบบเต็มช่วงสำหรับอินเตอร์ล็อคนิรภัยแบบอัตโนมัติ

การควบคุมความดัน:ฟีดแบ็กของมาโนมิเตอร์ความจุแบบลูปปิด-ที่เชื่อมต่อกับตัวควบคุมการไหลของมวลที่มีความแม่นยำสูง- (MFC) เพื่อรักษาเสถียรภาพแรงดันบางส่วนของก๊าซปฏิกิริยาในระหว่างการสะสมของปฏิกิริยา

วัสดุเป้าหมาย
โลหะบริสุทธิ์:Ti, Cr, อัล, Zr, Cu, Mo, W, Nb

เป้าหมายโลหะผสม:TiAl (50/50, 33/67), TiSi, CrAl

คาร์บอน:เป้าหมายกราไฟท์สำหรับการสะสมไฮบริด-คล้ายคาร์บอน (DLC) แบบเพชร

ความเข้ากันได้ของพื้นผิว
โลหะแข็ง / ซีเมนต์คาร์ไบด์:WC-เม็ดมีดสำหรับการตัดร่วม ดอกเอ็นมิลล์ และเครื่องมือขึ้นรูป

เหล็กความเร็วสูง- (HSS):ดอกต๊าป ดอกสว่าน และสว่าน

วิศวกรรมเหล็ก:เหล็กกล้าไร้สนิม โลหะผสมไทเทเนียม และซูเปอร์อัลลอยที่มี-นิกเกิลอุณหภูมิสูง-

เซรามิกโครงสร้าง:ส่วนประกอบของอลูมินาและซิลิคอนไนไตรด์ต้องมีการดัดแปลงไตรโบโลยี

เครื่องมือตัดและตัดเฉือน:การสะสมของการเคลือบ TiAlN และ AlCrN บนเม็ดมีดคาร์ไบด์เพื่อเพิ่มความต้านทานการเกิดออกซิเดชันได้สูงถึง 900 องศา C และยืดอายุการใช้งานของเครื่องมือในระหว่างการตัดแบบแห้ง-ด้วยความเร็วสูง

ส่วนประกอบยานยนต์:การเคลือบแหวนลูกสูบ ตัวยกวาล์ว และพินการฉีดเชื้อเพลิงอย่างแข็ง เพื่อลดค่าสัมประสิทธิ์แรงเสียดทานของขอบเขตต่ำกว่า 0.1 และป้องกันการครูด

แม่พิมพ์และแม่พิมพ์:การใช้ฟิล์ม CrN และ TiCN บนแม่พิมพ์ฉีดพลาสติกและแม่พิมพ์ปั๊มโลหะ เพื่อป้องกันการสึกหรอของกาวและการครูดของวัสดุ

ฮาร์ดแวร์การบินและอวกาศ:สารเคลือบป้องกันการกัดกร่อน-บนตัวยึดที่มีความแม่นยำและส่วนประกอบของคอมเพรสเซอร์ที่ทำงานในสภาพแวดล้อมที่มีฤทธิ์กัดกร่อน

เรขาคณิตของห้อง:การออกแบบประตูโหลดแบบหลุมแนวตั้ง-หรือด้านหน้าแนวนอน-ที่ปรับแต่งให้เหมาะกับรูปแบบพื้นของร้านค้า-

การรวมแหล่งที่มาแบบไฮบริด:การกำหนดค่าเทคโนโลยีคู่-ที่ผสมผสานเครื่องระเหยอาร์คแคโทดกับแคโทดแมกนีตรอนสปัตเตอร์ริ่ง (UBMS) ที่ไม่สมดุลหรือปืนลิเนียร์ไอออน

ระดับอัตโนมัติ:ตัวเลือกการรวมจากโรงงาน รวมถึงแขนโหลดหุ่นยนต์อัตโนมัติหรือการติดตั้งผนังกั้นห้องคลีนรูม

อิเล็กทรอนิกส์กำลัง:เครื่องกำเนิดพัลส์ไบแอสแบบกำหนดเองที่ปรับให้เหมาะสมสำหรับฉนวนซับสเตรตหรือวัสดุฐานที่ไวต่ออุณหภูมิ-

การตรวจจับการรั่วไหล:การทดสอบการรั่วของแมสสเปกโตรมิเตอร์ฮีเลียมดำเนินการในห้องสุญญากาศและตะเข็บเชื่อมทั้งหมด โดยรักษาอัตราการรั่วทั้งหมดให้ต่ำกว่า 1.0 x 10^-9 Pa*m^3/s

การตรวจสอบความปลอดภัยทางไฟฟ้า:การทดสอบความต้านทานของฉนวนและความต่อเนื่องของสายดินเป็นไปตามมาตรฐาน CE และมาตรฐานความปลอดภัยทางไฟฟ้า

ฟังก์ชันดรายรัน:การทดสอบวงจรแห้งอัตโนมัติอย่างต่อเนื่องเป็นเวลา 72 ชั่วโมงของตัวขับเคลื่อนการหมุนเชิงกล ลำดับวาล์ว และอินเตอร์ล็อคการไหลของน้ำหล่อเย็น

การตรวจสอบกระบวนการ (FAT):ตัวเลือกการเคลือบ TiN อ้างอิงบน-คูปองทดสอบที่ลูกค้าส่งมาเพื่อตรวจสอบความสม่ำเสมอของความหนาของฟิล์ม ความแข็งระดับนาโน- และความแข็งแรงในการยึดเกาะของรอยขีดข่วนก่อนลัง

คู่มือการเตรียมสถานที่:เอกสารทางวิศวกรรมของโรงงานโดยละเอียดครอบคลุมถึงขีดจำกัดในการรับน้ำหนักของพื้น ท่อระบายอากาศ ข้อกำหนดเฉพาะของน้ำเย็น และหยดระบบไฟฟ้าที่จัดเตรียมไว้ให้ 4 สัปดาห์ก่อนส่งมอบ

ใน-การว่าจ้างไซต์:วิศวกรบริการภาคสนามดูแลการวางตำแหน่งเชิงกล การเชื่อมต่อสาธารณูปโภค การปิดผนึกสูญญากาศ และการรวมระบบไฟฟ้า

การฝึกอบรมกระบวนการ:การฝึกอบรม-ภาคปฏิบัติโดยผู้ปฏิบัติงาน ซึ่งครอบคลุมถึงการบำรุงรักษาห้อง โปรโตคอลการเปลี่ยนเป้าหมาย การแก้ไขปัญหาสุญญากาศ และการจัดการสูตรอาหาร

การวินิจฉัยระยะไกล:เกตเวย์ VPN อุตสาหกรรมที่ปลอดภัยรวมอยู่ในตู้ควบคุมสำหรับการอัพเดตซอฟต์แวร์ระยะไกล การวิเคราะห์การบันทึกพารามิเตอร์ และการวินิจฉัยข้อผิดพลาด