อุปกรณ์หลาย-อาร์กสะสมสุญญากาศ

ระบบการสะสมสูญญากาศแบบหลาย-อาร์กนี้ใช้เทคโนโลยีการชุบอาร์คไอออนแบบแคโทดิกเพื่อเคลือบสารเคลือบแข็งที่มีความหนาแน่นสูง-การยึดเกาะสูงบนพื้นผิวโลหะและอโลหะ- ด้วยการพุ่งชนส่วนโค้งกระแสไฟแรงต่ำ-และกระแสสูง-บนเป้าหมายแคโทดที่เป็นของแข็ง วัสดุจะถูกระเหยและแตกตัวเป็นไอออนทันทีในสภาพแวดล้อมสุญญากาศ ไอออนของโลหะจะทำปฏิกิริยากับก๊าซที่เกิดปฏิกิริยา (N2, C2H2, O2) ด้วยความเร่งด้วยแรงดันไบอัสเชิงลบ เพื่อสร้างฟิล์มสารประกอบปริมาณสัมพันธ์

ออกแบบมาสำหรับห้องเครื่องมืออุตสาหกรรม ผู้ผลิตชิ้นส่วนยานยนต์ และสำนักบริการการเคลือบอิสระ ระบบนี้ให้ความแข็งของฟิล์มที่ทำซ้ำได้ ค่าสัมประสิทธิ์แรงเสียดทานต่ำ และความต้านทานต่อการเกิดออกซิเดชัน เครื่องจักรทุกเครื่องได้รับการกำหนดค่าตามปริมาณงานเป็นชุด รูปทรงของวัสดุพิมพ์ และสถาปัตยกรรมการเคลือบเป้าหมาย (ชั้นเดียว หลายชั้น หรือการไล่ระดับสี)

แหล่งที่มาของสนามแม่เหล็กขั้นสูง:แคโทดรวมขดลวดแม่เหล็กไฟฟ้าและถาวรที่ได้รับการปรับปรุงเพื่อควบคุมวิถีจุดอาร์ก เพิ่มประสิทธิภาพการใช้งานเป้าหมายมากกว่า 55% และลดการปล่อยหยด

การควบคุมการไหลของก๊าซแบบลูป-แบบปิด:เครื่องควบคุมการไหลของมวล (MFC) ควบคุมความดันบางส่วนของก๊าซปฏิกิริยาในแบบเรียลไทม์- โดยรักษาปริมาณสัมพันธ์ที่แม่นยำสำหรับการเคลือบสารประกอบที่ซับซ้อน เช่น TiAlN และ AlCrN

กลไกการหมุนของพื้นผิวดาวเคราะห์:ระบบขับเคลื่อนการหมุนแบบหลาย-แกนช่วยให้มั่นใจได้ถึงการกระจายความหนาของฟิล์มที่สม่ำเสมอ (ความคลาดเคลื่อนภายใน ± 5%) ทั่วทั้งส่วนประกอบ 3D และเครื่องมือตัดที่ซับซ้อน

ความสามารถในการแกะสลักไอออนในแหล่งกำเนิด:การทำความสะอาดการปล่อยแสงเรืองแสงในตัวและการกัดด้วยไอออนของโลหะจะขจัดออกไซด์ดั้งเดิมก่อนที่จะเกิดการสะสม เพื่อให้แน่ใจว่ามีการยึดติดส่วนต่อประสานที่ต้านทานการขีดข่วน-

สถาปัตยกรรมไฟฟ้าแบบแยกส่วน:เทอร์มินัลบล็อกที่ได้มาตรฐานและชั้นวางกำลังแบบแยกส่วนช่วยลดความยุ่งยากในการวินิจฉัยภาคสนามและลดเวลาเฉลี่ยในการซ่อม (MTTR)

การสะสมของฟิล์มบาง-ขึ้นอยู่กับความสมบูรณ์ของสุญญากาศพื้นฐานและไดนามิกในการจัดการก๊าซ ซึ่งดำเนินการผ่านปล่องปั๊มแบบเป็นขั้น:

การกัดหยาบและขั้นกลาง:ปั๊มเชิงกลใบพัดหมุนโดยตรง-ที่จับคู่กับเครื่องเป่าลมแบบรากจะอพยพห้องออกจากความดันบรรยากาศไปจนถึงช่วงการเปลี่ยนแปลง (10^-1 Pa)

ระยะสุญญากาศสูง:ปั๊มโมเลกุลแบบเทอร์โบ- (หรือปั๊มกระจายน้ำมันที่ติดตั้งกับดักเย็นด้วยไนโตรเจนเหลว) ให้แรงดันพื้นฐานสูงสุดที่ต่ำกว่า 5.0 × 10^-4 Pa ซึ่งขจัดไอน้ำที่ตกค้างและการปนเปื้อนของออกซิเจน

ชุดซีลและวาล์ว:วาล์วประตูสุญญากาศสูง-แบบนิวแมติก หน้าแปลนอีลาสโตเมอร์/โลหะ-ปิดผนึก (ISO/CF) และรอยรั่วของฮีเลียม-ที่ผ่านการทดสอบ (< 1.0 × 10^-10 Pa·m3/s) prevent atmospheric outgassing during long coating cycles.

วัสดุเป้าหมาย
โลหะบริสุทธิ์:Ti, Cr, Al, Zr, Cu, Mo, สแตนเลส

โลหะผสม:TiAl, CrAl, SiAl, WC-Co

วัสดุพื้นผิว
เหล็กกล้าเครื่องมือ:H13, M2, D2, เหล็กความเร็วสูง- (HSS)

ซีเมนต์คาร์ไบด์:WC-เม็ดมีดร่วมและดอกเอ็นมิลล์

โลหะโครงสร้าง:โลหะผสมไทเทเนียม สแตนเลส ทองเหลือง และอลูมิเนียม (ต้องใช้โปรโตคอลการสะสมที่อุณหภูมิต่ำ-)

เครื่องมือตัดและขึ้นรูป:การสะสม TiN, TiAlN และ AlCrN บนดอกเอ็นมิลล์ ดอกสว่าน หัวกัดเฟือง และแม่พิมพ์ปั๊มเพื่อเพิ่มความแข็งผิวสูงถึง 3000 HV และยืดอายุการใช้งานเครื่องมือ 3x–5x

ส่วนประกอบยานยนต์:การเคลือบแรงเสียดทานต่ำ- (DLC หรือ CrN) ที่ใช้กับแหวนลูกสูบ หมุดฉีดเชื้อเพลิง และก้านกระทุ้ง เพื่อลดการสึกหรอทางกลและการสูญเสียพลังงานจากปรสิต

ฮาร์ดแวร์และสุขภัณฑ์:Decorative, wear-resistant hard gold, rose gold, black (TiCN, ZrN), and stainless steel tones applied to architectural door hardware and bathroom fixtures with proven salt spray corrosion resistance (>240 ชั่วโมง)

เรขาคณิตของห้อง:การกำหนดค่าการโหลดในแนวตั้ง (-แบบติดตั้งแบบหลุมหรือแบบตั้งพื้น-) หรือแบบแนวนอน-

การบูรณาการการสะสมแบบไฮบริด:รวมแหล่งกำเนิดอาร์คแคโทดเข้ากับแคโทดแมกนีตรอนสปัตเตอร์ริ่งกำลังแรงสูง- (HIPIMS) หรือแคโทดแมกนีตรอนสปัตเตอร์ริ่ง (UBM) ที่ไม่สมดุลในห้องเดียวสำหรับเลเยอร์การทำงานแบบไฮบริด

อินเตอร์เฟซอัตโนมัติ:การรวมซอฟต์แวร์ SCADA แบบกำหนดเองเข้ากับ MES จากโรงงาน (ระบบการดำเนินการด้านการผลิต) สำหรับการติดตามแบทช์ระยะไกลและการจับมือหุ่นยนต์โหลดอัตโนมัติ

การดัดแปลงยูทิลิตี้:การปรับอุณหภูมิ/แรงดันน้ำหล่อเย็นเฉพาะจากโรงงาน- และการปฏิบัติตามแรงดันไฟฟ้าของโครงข่ายไฟฟ้าเฉพาะที่ (เช่น 380V/480V, 50Hz/60Hz, 3 เฟส)

การตรวจจับการรั่วไหลของสุญญากาศ:การทดสอบการรั่วของแมสสเปกโตรมิเตอร์ฮีเลียมดำเนินการกับตัวห้อง ตะเข็บเชื่อม และท่อร่วมวาล์วทั้งหมด

การตรวจสอบความปลอดภัยทางไฟฟ้า:ความต้านทานของฉนวน ความต่อเนื่องของสายดิน และการทดสอบ{0}}ศักยภาพสูง (ฮิโปต์) สูงที่ดำเนินการตามมาตรฐานทางไฟฟ้า CE/UL

ฟังก์ชันดรายรัน:การทดสอบการหมุนเวียนอย่างต่อเนื่องเป็นเวลา 72 ชั่วโมงสำหรับตัวขับเคลื่อนการหมุนเชิงกล วาล์วนิวแมติก และส่วนประกอบความร้อนโดยไม่มีการจุดระเบิดตามเป้าหมาย

การตรวจสอบการสะสมตัวอย่าง:การทดลองเคลือบดำเนินการโดยใช้-ซับสเตรตที่ลูกค้าส่งมา ตัวอย่างประเมินโดยการทดสอบหลุมลูกบอล- (การยึดเกาะ) และ Calotest/XRR (การวัดความหนาของฟิล์ม)

ก่อน-คู่มือการติดตั้ง:แบบร่างเค้าโครงฐานรากและยูทิลิตี้โดยละเอียดครอบคลุมข้อกำหนดการรับน้ำหนักของพื้น อัตราการไหลของน้ำหล่อเย็น (ลบ.ม./ชม.) ข้อกำหนดท่อไอเสีย และขนาดบัสบาร์ไฟฟ้า

ใน-การว่าจ้างไซต์:วิศวกรภาคสนามถูกส่งไปเพื่อจัดตำแหน่งทางกล การตรวจสอบการรั่วไหลของสุญญากาศ การเชื่อมต่อระบบไฟฟ้า การปรับแต่งสูตรกระบวนการเริ่มต้น และการฝึกอบรมผู้ปฏิบัติงาน

แพคเกจเอกสาร:การส่งมอบที่สมบูรณ์ประกอบด้วยแผนงานไฟฟ้า สรุปลอจิกแหล่งที่มาของ PLC คู่มือส่วนประกอบสูญญากาศ แผนผังการแก้ไขปัญหาการบำรุงรักษา และกำหนดการเปลี่ยนวัสดุสิ้นเปลือง

การสนับสนุนการวินิจฉัยระยะไกล:VPN ที่ปลอดภัย-เปิดใช้งานการผสานรวมเราเตอร์ ทำให้วิศวกรกระบวนการสามารถลงชื่อเข้าใช้อินเทอร์เฟซ HMI เพื่อ-วิเคราะห์พารามิเตอร์แบบเรียลไทม์และอัปเดตซอฟต์แวร์ได้

สินค้าคงคลังอะไหล่:สต็อกสินค้าทดแทนที่สำคัญโดยเฉพาะ (เป้าหมายแคโทด ฉนวน ซีลวาล์ว) ได้รับการดูแลรักษาเพื่อการจัดส่งที่รวดเร็วเพื่อลดเวลาหยุดทำงานของสายการผลิต