ระบบเคลือบสูญญากาศระดับอุตสาหกรรม-ที่ผสานการสปัตเตอร์แมกนีตรอน (RF/DC/HiPIMS) และการระเหยอาร์คแคโทด ออกแบบมาเพื่อการสะสมฟิล์มบาง-หลายชั้น โลหะผสม และนาโน-คอมโพสิตบาง-อย่างต่อเนื่องในระดับการผลิต
ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิค
|
พารามิเตอร์ |
ค่าข้อมูลจำเพาะ |
|
สุดยอดแรงดันสุญญากาศ |
<= 5.0 x 10^-4 Pa (Turbo-molecular and roots-rotary pump configuration) |
|
ขนาดห้อง |
ขนาดที่กำหนดเองตั้งแต่ D 600 มม. x 600 มม. ถึง D 1500 มม. x 1500 มม. (สแตนเลสขัดเงาไฟฟ้า 304/316L-) |
|
แหล่งที่มาของการสะสม |
กำหนดค่าได้: แคโทดสปัตเตอร์แมกนีตรอน 2-6 ตัว / แหล่งกำเนิดอาร์ค 2-4 ตัว |
|
พลังอคติของพื้นผิว |
ปรับได้ 0 ถึง -1000 VDC (พัลส์ DC สำหรับซับสเตรตอิเล็กทริก) |
|
ความสม่ำเสมอของความหนาของฟิล์ม |
<= +/- 3% across standard planar holder (via dynamic planetary rotation) |
|
อุณหภูมิพื้นผิว |
สภาพแวดล้อมถึง 650 องศา (+/- 2 องศา PID ปิด- การควบคุมลูป) |
|
การกระจายอำนาจ |
RF (13.56 MHz), DC, Pulsed DC และ-ความถี่กลาง (MF) พร้อมการลดส่วนโค้ง |
คุณสมบัติที่สำคัญ
การบูรณาการเทคโนโลยีแบบคู่-:รวมสปัตเตอร์ริ่ง (ฟิล์มสารประกอบอสัณฐานเรียบ) และอาร์กแคโทดิก (การสะสมของโลหะไอออไนเซชัน/โลหะผสมสูง-) ในรอบดาวน์ปั๊มเดียว-
การจัดการก๊าซแบบวนซ้ำ-แบบปิด:ตัวควบคุมการไหลของมวล (MFC) จับคู่กับการตรวจสอบการปล่อยก๊าซเรือนกระจก (OEM) จะรักษาแรงดันบางส่วนของก๊าซที่ทำปฏิกิริยาให้คงที่
การแยกทางกล:ระบบขับเคลื่อนดาวเคราะห์แบบหลาย-แกนจะแยกแบริ่งเชิงกลออกจากโซนกระบวนการ เพื่อป้องกันการปนเปื้อนของอนุภาค
สถาปัตยกรรมเชิงความร้อน:ผนังห้องระบายความร้อน-ผนังสองชั้น-และผนังป้องกันรังสีป้องกันการบิดเบือนความร้อนระหว่าง-การทำงานของพลังงานสูง
แกนหลักของระบบอัตโนมัติ:สถาปัตยกรรม Siemens S7-1500 PLC และ WinCC SCADA สำหรับการตรวจสอบการเชื่อมต่อ ก๊าซ และพลังงานแบบเรียลไทม์
การกำหนดค่าระบบสุญญากาศ
รถไฟหยาบ:ปั๊มใบพัดโรตารีขับตรง-ซึ่งมีโบลเวอร์ Roots พร้อมซีลของเหลวแม่เหล็ก
สุญญากาศสูง:ปั๊มโมเลกุลเทอร์โบ-ลอยด้วยแม่เหล็ก (1200 - 3200 ลิตร/วินาที) หรือปั๊มไครโอเจนิก
การวินิจฉัย:พอร์ตทดสอบแมสสเปกโตรมิเตอร์ฮีเลียมในตัวและอินเตอร์ล็อคการหาลำดับอัตโนมัติ
ความเข้ากันได้ของวัสดุและพื้นผิว
วัสดุเป้าหมาย:
โลหะ:Ti, Cr, อัล, Zr, Cu, TiAl, CrAl, Si
เซรามิก/สารประกอบ:TiN, CrN, TiAlN, DLC, Al2O3, SiO2
พื้นผิว:เหล็กกล้าเครื่องมือ (H13, M2, เม็ดมีดคาร์ไบด์), โลหะผสมที่มีโครงสร้างไทเทเนียม/อะลูมิเนียม, เซรามิกวิศวกรรม และเวเฟอร์ซิลิคอน
แอพพลิเคชันและประสิทธิภาพที่ได้รับการพิสูจน์แล้ว
เครื่องมือตัด:การเคลือบหลายชั้น-แรงเสียดทานต่ำ -ความแข็งสูง- (TiAlN/TiN) เพื่อยืดอายุการใช้งานของเครื่องมือภายใต้การตัดเฉือนด้วยความเร็วสูง-แบบแห้ง
ยานยนต์:สารเคลือบป้องกันการสึกหรอและ-สำหรับแหวนลูกสูบและหมุดฉีดน้ำมันเชื้อเพลิง
การบินและอวกาศ:แผงกั้นความร้อนและฟิล์มป้องกันที่ทนต่อการออกซิเดชั่น-บนใบพัดคอมเพรสเซอร์และตัวยึด
เลนส์และอิเล็กทรอนิกส์:ออกไซด์โปร่งใสนำไฟฟ้า (ITO) และตัวกรองสัญญาณรบกวนทางแสง
ตัวเลือกการปรับแต่ง
เรขาคณิตของห้อง:การกำหนดค่ากล่องสี่เหลี่ยมสำหรับการโหลดชั้นวางแบบแบตช์หรือรูปทรงอินไลน์ทรงกระบอก
การปรับปรุงแหล่งที่มา:หน้าแปลนยึดแคโทดแบบเปลี่ยนได้สำหรับการแปลงสนามเป็น CFUBMS
การแกะสลักด้วยพลาสมา:ปืนไอออนชนิด Kaufmann- หรือแหล่งกำเนิดแคโทดกลวงสำหรับ-การทำความสะอาดพื้นผิวในแหล่งกำเนิด
การควบคุมคุณภาพและการทดสอบโรงงาน
ความสมบูรณ์ของสุญญากาศ:เกณฑ์การทดสอบการรั่วของฮีเลียม<= 1 x 10^-9 Pa*m^3/s.
เสร็จสิ้นพื้นผิว:รอยเชื่อมภายในห้องด้วยไฟฟ้า-ขัดเงาเป็น Ra<= 0.4 um.
อ้วน:การทดสอบการทำงานแบบแห้งต่อเนื่อง 72{{1} ชั่วโมงสำหรับสุญญากาศ การเคลื่อนที่ และอินเทอร์ล็อกด้านความปลอดภัยก่อนทำลัง
มาตรฐานการปฏิบัติตาม:สร้างขึ้นตามคำสั่งเครื่องจักร CE และมาตรฐาน ISO 9001 (ไอคอนตราสัญลักษณ์ความน่าเชื่อถือ: ISO 9001, CE, UL)
การติดตั้งและการสนับสนุนทางเทคนิค
ชุดเอกสารประกอบ:แผนผัง P&ID แผนภาพการเดินสายไฟฟ้า ลอจิกแหล่งที่มาของ PLC และเอกสารการปฏิบัติตามข้อกำหนด CE/UL
การว่าจ้าง:วิศวกรภาคสนามจะดูแลการวางตำแหน่งทางกล การเชื่อมต่อสาธารณูปโภค และการตรวจสอบการตรวจสอบการรั่วไหล
SAT และการส่งมอบสูตรอาหาร:บน-การทดสอบพื้นฐานไซต์และการเพิ่มประสิทธิภาพสูตรอาหาร
คำถามที่พบบ่อย
ถาม: เวลาหยุดทำงานของปั๊ม-ถึงแรงดันพื้นฐานคือเท่าไร
ตอบ: เข้าถึง < 5.0 x 10^-4 Pa ภายใน 45 นาทีภายใต้สภาวะความร้อนที่สะอาด แห้ง และโดยรอบ
ถาม: ระบบสามารถสลับระหว่างกระบวนการสปัตเตอร์ DC และ RF ในช่วงกลาง-ได้หรือไม่
ก. ใช่. เมทริกซ์กำลังช่วยให้ซอฟต์แวร์-ควบคุมลำดับระหว่าง DC, DC แบบพัลซิ่ง และ RF โดยไม่ทำลายสุญญากาศ
ถาม: ต้องใช้ยูทิลิตี้อะไรบ้างใน-ไซต์
ตอบ: น้ำเย็น (15 ถึง 20 องศาที่ 0.3 ถึง 0.4 MPa) อากาศอัด (0.6 MPa) ก๊าซในกระบวนการที่มีความบริสุทธิ์สูง- (Ar, N2, O2 ที่ 99.999%) และพลังงานอุตสาหกรรม 3 เฟสโดยเฉพาะ
ถาม: อุณหภูมิของพื้นผิวจะถูกควบคุมอย่างไรในระหว่างการสะสม
ตอบ: ไพโรมิเตอร์อินฟราเรดในตัวควบคู่กับช่องทำความร้อนแบบกระจายและการควบคุมลูป-แบบปิด PID
ป้ายกำกับยอดนิยม: ระบบฟิล์มบางคอมโพสิต pvd ผู้ผลิตระบบฟิล์มบางคอมโพสิต pvd ซัพพลายเออร์ โรงงาน
